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系统主要特点:
高效便捷的薄膜材料表征手段(nm到um薄膜测试)。
不同温度下的测量(-170 to 200℃<-可选300℃>)
样品易于制备和处理
高的测量适应性 (样品厚度,电阻率,沉积方式)
一个样品,一次同步测量即可获得所有相关参数。
适用于金属、陶瓷及有机材料。
基本测量单元 :
测量室,真空泵,带加热器的支架,电子颊侧装置,集成锁相放大器,3w方法分析软件,计算机和应用软件。可测以下物理参数:
l -热传导系数 (稳态法/平面内方向)
r - 电阻率
s - 电导率
S - 赛贝克系数
e – 发射率
cp - 比热容
磁测量单元
可根据需求选择集成式电磁铁,可测物理参数如下:
AH - 霍尔常数
μ –迁移率
n -载流子浓度
薄膜材料性能有别于块体材料之处
- 因小尺寸和高纵横比所导致的表面效应如:边界散射和量子限域效应
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