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此款小型离子溅射仪主要用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜(金膜),仪器操作简单方便,是配合SEM 制样必备的仪器。设备配有微量充气阀调节工作真空,在 20Pa 真空保护。同时,配有专用进气口和微量充气调节装置,以方便空气或氩气等工作气体充入。
产品编号
ZB-YQ1700
产品名称
小型离子溅射仪
玻璃处理室
Φ100mm、高度130mm
试样台尺寸
Φ40mm可同时放6个样品杯
金靶尺寸
Φ58mm
真空系统
直联旋片真空泵2L/S
真空检测
皮氏计
真空保护
20Pa配有微量充气阀调节工作真空
工作气体
空气或氩气,配有氩气专用进气口和微量充气调节
ZB-YQ1700小型离子溅射仪, ZB-YQ1700
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