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1、多功能
透射电镜样品/ 样品杆清洗;
扫描电镜样品/ 样品台清洗/ 电镜腔体清洗;
透射电镜样品杆高真空储存:3根;
气体/ 液体原位样品杆检漏
2、高真空:
-6Tor 以上真空
3、可移动性:
采用小推车设计
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