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技术优势:
1、 清洗功率可调节:0 to 99 watts;
2、 操作压力可调节:from 2 torr to 1 mTorr;
3、 清洗速度快;
4、 无需破真空进行清洗,实现原位清洗;
5、 即插即用设计方案,无需集成;
6、 采用从上到下清洗模式,降低对样品的损伤
7、微量等离子激发,消除清洗和成像交换之间的图像形成的迟滞现象;
8、扩展性好,可配用各类台式电镜、透射电镜原位清洗以及样品清洗使用
可搭配设备:SEM/FIB/NanoProbe/XPS/TEM/同步辐射及其他各类真空体
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