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准分子激光混合气是将卤化物(氟/氯)和稀有气体(氪、氖或氙)进行混合,从而在深紫外线范围内产生激光。凭借着30多年生产艾必利混合气体的丰富经验,空气产品公司生产的艾必利准分子激光混合气成分精准稳定,杂质含量超低,适合准分子光刻应用。本地化生产,让您无需再从欧美进口,节省时间和成本。
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水氧等影响卤化物稳定性的杂质含量更低
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一氧化氮、二氧化氮、二氧化硫是大气中的主要污染物和雾霾前驱物,这些污染物的存在不仅对人体和动植物有直接危害,还是调控臭氧,形成酸雨和光化学烟雾的重要因子,因此,这些污染物是我国空气质量监测的关键参数。 随着环保力度的加强,我国环境监测部门对微量环境气体标准物质,尤其是国家有证气体标准物质的需求量急剧增加。为应对我
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