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快速热处理(RTP)已经成为半导体、铁电体以及镀膜行业的重要退火技术。但是目前,只有大型的、昂贵的生产设备才能完成快速热处理,这大大降低了研发工作的效率(尤其是小的样品)。为了满足市场的需求,ADVANCE RIKO研发出MILA-5000系列的小型快速退火炉。此系列的设备包含红外金面反射炉和高精度的温度控制器。根据需求选配相应的泵和气体接口,MILA能提供与大型RTP设备相同的热处理性能。
特点:
l 快速加热及冷却能力;
l 可在任意气氛中使用;
l 实时观测试样;
l 精确的温度控制;
型号
MILA-5000Series
温度范围:
室温~1200℃
加热功率:
50℃/s(50~1200℃)真空
45℃/s(50~1200℃)氮气氛围
温度均匀性:
±2.0℃(ΔT=4℃)1200℃真空
±4.5℃(ΔT=9℃)1200℃氮气氛围
加热气氛:
大气、真空、惰性气氛环境下
试样尺寸:
MAX:50 square or φ 50 x T5 (mm)
程序模组:
温度VS时间设定、Step数256、Program数32(Max);
PID+Fuzzy控制、自动微调、USB通讯、自动/手动切换;
Mila-5000series多功能快速退火炉,MILA-5000Series
Mila-5000series多功能快速退火炉信息由凯戈纳斯仪器商贸(上海)有限公司为您提供,如您想了解更多关于Mila-5000series多功能快速退火炉报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
超高温高速退火炉
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