Mila-5000series多功能快速退火炉

快速热处理（RTP）已经成为半导体、铁电体以及镀膜行业的重要退火技术。但是目前，只有大型的、昂贵的生产设备才能完成快速热处理，这大大降低了研发工作的效率（尤其是小的样品）。为了满足市场的需求，ADVANCE RIKO研发出MILA-5000系列的小型快速退火炉。此系列的设备包含红外金面反射炉和高精度的温度控制器。根据需求选配相应的泵和气体接口，MILA能提供与大型RTP设备相同的热处理性能。

特点：

l 快速加热及冷却能力；

l 可在任意气氛中使用；

l 实时观测试样；

l 精确的温度控制；

型号

MILA-5000Series

温度范围：

室温~1200℃

加热功率：

50℃/s（50~1200℃）真空

45℃/s（50~1200℃）氮气氛围

温度均匀性：

±2.0℃（ΔT=4℃）1200℃真空

±4.5℃（ΔT=9℃）1200℃氮气氛围

加热气氛:

大气、真空、惰性气氛环境下

试样尺寸:

MAX：50 square or φ 50 x T5 (mm)

程序模组：

温度VS时间设定、Step数256、Program数32（Max）；

PID+Fuzzy控制、自动微调、USB通讯、自动/手动切换；

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途