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SCIL纳米压印系统AutoSCIL
参考价：面议
品牌：SCIL 产地：荷兰 型号：AutoSCIL 样本：来电或留言获取样本
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产品介绍
荷兰SCIL公司简介
荷兰SCIL公司是全球知名的纳米压印设备供应商，是荷兰飞利浦公司投资的高科技公司之一，其专利的“SCIL基底保形压印”技术，结合了小面积硬压与大面积软压的优势，真正意义上实现了纳米压印技术的工业12寸wafer级量产，已经被国际上很多知名fab厂采用。
“SCIL基底保形压印光刻”是一种经济高效、稳健、高产量的工艺，可在多种材料上实现纳米分辨率图案。SCIL可实现在达 300 毫米的晶圆区域上提供经过验证的高质量压印。它可用于制作特征尺寸小于 10 nm 和套刻对齐精度小于 1 µm 的图案。
荷兰SCIL公司同时开发了专利的无机玻璃纳米压印光刻胶，可直接作为功能层使用，可直接省去2个工艺步骤，大大降低了生产成本。
SCIL 目前可提供2” 至 12”晶圆手动研发工具到全自动系统的全方位解决方案，并可以帮助客户优化设备、耗材和流程，以实现大批量生产。
SCIL 技术特色
- 即使在非平坦和弯曲的表面上也可以保证保形接触印刷（专利的模板复制技术）。
- 独特的 SCIL 压印工艺可确保＜10 nm 分辨率、低图案变形和无颗粒损坏印模。
- 套刻对齐精度：< 1 µm
- -gel的优异蚀刻特性可得到极高的蚀刻率。
- Sol-gel的的热稳定性、光学透明度和（UV）稳定性使其适合作为功能层。
- 使用热Sol-gel大大增加了母版寿命。
- 总体而言，SCIL可将最高的压印质量和产量与高吞吐量和低总体拥有成本相结合。
AutoSCIL型全自动纳米压印系统简介
AutoSCIL型全自动纳米压印系统包括所有基本工艺步骤：晶片处理、预对准、旋涂、SCIL 压印、烘烤和冷却。
技术参数
| 产能 | 30 - 60 wafers/小时（取决于wafer尺寸，材料，pattern尺寸等因素） |
| 晶圆尺寸 | 2” up to 8” (or 200 mm) |
| Wafer thickness | 0.3 - 2.5 mm |
| 晶圆搬运 | Cassette-to-cassette,带robot |
| 光刻胶类型 | Thermal sol-gel UV sol-gel UV organic |
| 光刻胶涂层 | 集成了旋涂仪 |
| 压印技术 | 低力软模基底保形纳米压印技术 |
| 后处理 | 烘烤与冷却 |
| 尺寸(WxLxH) | 1.9 x 1.6 x 2.2 m |
| 套刻精度 | < 1μm |
应用
纳米图案化是众多纳米光子应用的关键工艺步骤。下面提到的应用程序只是一个选择。其他应用包括：
- 增强现实和虚拟现实 (AR/VR) 光学
- MicroLED
- MEMS和传感器
SCIL纳米压印系统AutoSCIL信息由微纳（香港）科技有限公司为您提供，如您想了解更多关于SCIL纳米压印系统AutoSCIL报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
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