MICRO纳米压痕仪

产品简介

MICRO公司的纳米力学性能测试系统,可以提供新型材料和特种材料开发和优化的大量信息。是世界上最灵活、功能最强大的纳米力学测试系统。它可以为用户提供高精度的纳米压痕测试，同时提供相关的全面综合测试：如纳米划痕和磨损测试、纳米冲击和疲劳测试、以及在高温、液体环境中的测试。这些纳米水平上的测试可以为我们提供材料表面局部的定量信息，数据可靠、测试省时。这些因数使得MICRO在世界范围内成为大学、工业实验室和标准机构中很多表征和优化项目的最关键设备。

自1988年以来，我们一直走在纳米力学创新的前沿： 

► 第一个商用高温纳米压痕平台 

► 第一台商用纳米冲击试验机 

► 第一个商用液体池 

► 第一台用于高真空、高温纳米力学的商用仪器

产品优势：

► 无与伦比的技术多样性 无 纳米压痕，纳米划痕，纳米冲击， 纳米微震动磨损，纳米磨损 

► 高精度的多种载荷 纳米（至500mN）和微米（至30N） 

► 引领市场的环境兼容能力 引 高温（至850°C）、低温（至-20° C）、液体和湿度环境 

► 真正测量多 真 样性 动态、静态、电气和多种成像模式

技术指标

1、加载框架 

     花岗岩复合材料设计专门用于计量应用 

2、加载应用 电磁 

    标准头最大载荷 500 mN 

    位移传感器 线性电容 

    负载分辨率 3 nN 

    位移分辨率 0.002 nm 

    重复定位精度 < 0.4 µm 

    可测试区域 50 mm x 100 mm 

    样品处理 手动控制并点击显微镜图像 

    热漂移 <0.005 nm/s 

    接触力 <1 µN 

    显微镜– 4个物镜 x5, x10, x20 和 x40 

    屏幕放大率 x410, x825, x1650, x3300 

    隔振 负K，机械被动 

    压头交换时间 <1 min 

    符合标准 完全符合ISO 14577和ASTM 2546 

3、划痕模块 

     最大摩擦力 >250 mN 

     摩擦载荷分辨率 10 µm 

     最大划痕距离 > 10 mm 

     划痕速度 100 nm/s 至 0.1 mm/s 

4、冲击模块 

     加速距离 高达20 µm 

     接触应变率 高达10⁴ s^-1 

     微动磨损模块 

     轨道长度 ≤20 µm 

     频率 ≤20 Hz 

     最大磨损次数 >10 

 5、SPM纳米定位平台 

     XY扫描范围 100 µm x 100 µm 

     Z扫描范围 20 μm 

     定位精度 ≤2 nm 

     闭环线性 99.97% 

6、AFM 

    XY扫描范围 110 µm x 110 µm 

    Z范围 22 µm 

7、高温选项 

    温度 850 °C 

    主动，独立的样品和压头加热 是 

    压头材料 金刚石，氮化硼，蓝宝石 

8、高负载头 

     最大载荷 30 N 

     摩擦载荷分辨率 300 μN 

应用范围

航空航天、汽车工业、半导体、生物医学、MEMS、高分子、薄膜和涂层，以及太阳能/燃料电池等

MICRO纳米压痕仪信息由昱臣半导体技术（香港）有限公司为您提供，如您想了解更多关于MICRO纳米压痕仪报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。