MetronLens 超构透镜光学检测系统

MetronLens 超构透镜光学检测系统 是一款面向超构透镜、超构表面、微透镜阵列等平面光学元件的专用光学检测系统。 该系统综合了显微成像技术、离轴数字全息技术以及远场成像技术等多种先进技术，可实现光场分布、相位分布和远场分布的原位检测，深刻揭示超构表面、超构透镜、微透镜阵列等平面光学元件的内在物理特性，为验证设计的准确性、制备加工工艺的优化提供了强有力的检测工具。

MetronLens 超构透镜光学检测系统

典型应用领域：

       超构表面(Metasurface)   是一种由亚波长的微纳结构组成的平面结构，可以高自由度的对光波进行调控和操纵，因此超构表面的研究需要测量它所调控的光场分布和相位分布。

       微透镜阵列(Microlens Array，MLA)   是由尺寸只有几十微米和数百微米的微型透镜构成的阵列，因此微透镜阵列的研究需要微米尺度的单透镜检测能力。

       衍射光学元件(Diffractive Optical Elements, DOE)   是基于光的衍射效应而设计的光学元件，核心是对光的相位进行调制，需要高分辨率的相位测量。

      MetronLens 超构透镜光学检测系统 在以上领域的应用得益于如下几个创新点： 1  毫秒级相位检测  MetronLens 基于“微型透镜检测系统及其检测方法”发明专利和离轴外差干涉技术，在显微体系下实现了毫秒级相位分布检测，相位分辨率可达 50mrad； 2  高空间分辨率  采用优异光学设计，结合大NA（大于 0.75）高倍率的成像系统和高像素数探测器，确保大视场下空间分辨率可达 0.6μm； 3  高精度 z轴扫描  配有三轴全闭环超高精度电控位移台,能够轻松实现 0~22mm 行程的光场扫描，z轴扫描定位精度最小可达到 ±1μm； 4  多波长测试光源  系统内部最多可集成 457nm、532nm、660nm 三种连续激光光源，可满足多样化的波段测试需求，并支持其他光源外部扩展。

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