高分辨率共聚焦成像显微镜系统

中图仪器VT6000高分辨率共聚焦成像显微镜系统基于光学共轭共焦原理，结合精密纵向扫描，以在样品表面进行快速点扫描并逐层获取不同高度处清晰焦点并重建出3D真彩图像，从而进行分析。

技术参数

VT6000系列共聚焦显微镜依托先进技术架构，以卓越参数表现，满足微纳米级检测的严苛要求。三款机型VT6100、VT6200、VT6300均采用尼普科夫转盘共聚焦光学系统与白光LED光源，确保检测稳定性与精准度。

显微物镜标配10×、50×（APO），可选5×、20×、100×（APO），视场范围覆盖2.4×2.4 mm~120×120 μm，适配不同尺寸工件检测。高度测量重复性≤12nm，精度≤(0.2+L/100)μm，显示分辨率达0.1nm；宽度测量重复性40nm，精度±2%，显示分辨率1nm，实现纳米级精准测量。

XY位移平台行程分别为100×100mm（VT6100）、200×200mm（VT6200）、300×300mm（VT6300），其中VT6300配备12英寸真空吸盘，负载均达10kg，满足不同尺寸工件承载需求；Z位移轴行程100mm，Z0轴扫描范围10mm，电动控制确保操作精准。

VT6000高分辨率共聚焦成像显微镜系统还具备数据处理、五大分析工具、自动拼接等功能，镜头压力传感器与弹簧结构设计、光源无人值守自动熄灯功能，兼顾操作安全与设备寿命，硬核参数为精密检测提供坚实保障。

应用场景

1、镭射槽

测量晶圆上激光镭射槽的深度：半导体后道制造中，在将晶圆分割成一片片的小芯片前，需要对晶圆进行横纵方向的切割，为确保减少切割引发的崩边损失，会先采用激光切割机在晶圆表面烧蚀出U型或W型的引导槽，在工艺上需要对引导槽的槽型深宽尺寸进行检测。

2、光伏

在太阳能电池制作工程中，栅线的高宽比决定了电池板的遮光损耗及导电能力，直接影响着太阳能电池的性能。共聚焦显微镜可以对栅线进行快速检测。此外，太阳能电池制作过程中，制绒作为关键核心工艺，金字塔结构的质量影像减反射焰光效果，是光电转换效率的重要决定因素。共聚焦显微镜具有纳米级别的纵向分辨能力，能够对电池板绒面这种表面反射率低且形貌复杂的样品进行三维形貌重建。

3、其他

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