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发布时间:2024年07月
半导体缺陷检测:自动化显微成像模组
针对半导体集成电路工艺线从表面缺陷检查到图形尺寸测量等各环节自动化视觉检测需求。
产品特性和核心技术:
激光自动聚焦:
·自主研制的激光辅助离焦量传感器。
·可在无图案晶圆上实现精确自动聚焦和表面跟踪。
·辅以图形边缘识别,实现双模式自动调焦。
明场成像和照明系统:
·自主研制的小型化科勒照明系统。
·照明视场均匀、无暗角,成像视场中心和边角均有高对比度和解析度。
全自动操作:
·全软件控制,自动调焦、寻区、切换物镜……
供应链国产可控。
性能参数:
激光自动聚焦
显微成像
不同倍数物镜下典型成像效果
自动化显微成像模组-卓立汉光,-
自动化显微成像模组-卓立汉光信息由北京卓立汉光仪器有限公司为您提供,如您想了解更多关于自动化显微成像模组-卓立汉光报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
JB/T 10573-2013 工具显微镜
NF ISO 21073:2020 显微镜 - 共焦显微镜 - 来自用于生物成像的共焦荧光显微镜的光学数据
ISO 21073:2019 显微镜.共焦显微镜.生物成像用荧光共焦显微镜的光学数据
BS 7012-10.2:1997 光学显微镜.立体显微镜最低要求.高性能显微镜
GB/T 9247-2008 显微镜.聚光镜
BS 7012-1:1998 光学显微镜.显微镜成像部件放大率规范
BS ISO 21073:2019 显微镜 共焦显微镜 用于生物成像的荧光共焦显微镜的光学数据
GB/T 27668-2023 显微镜 光学显微术术语
GB/T 9246-2008 显微镜.目镜
BS 7012-10.1:1998 光学显微镜.立体显微镜的最低要求.一般用途立体显微镜
GB/T 2609-2006 显微镜.物镜
BS 7012-1:1990 光学显微镜 显微镜成像元件放大倍数规范
YY 0067-2007 微循环显微镜
NF S10-500*NF ISO 21073:2020 显微镜 共聚焦显微镜 用于生物成像的荧光共聚焦显微镜的光学数据
KS B ISO 15227:2018 光学和光学仪器 - 显微镜 - 立体显微镜的测试
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GSO ISO 15227:2015 光学和光学仪器 显微镜 立体显微镜的测试
BH GSO ISO 15227:2016 光学和光学仪器 显微镜 立体显微镜的测试
JIS K 2400:2010 显微镜.光学显微镜浸液
ISO 8036:2015 显微镜.光学显微镜浸液
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