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罗茨泵组 CombiLine系列
罗茨泵组用于中低真空环境,并提供高抽速,尤其在过渡范围内。
CombiLine 代表了各种罗茨泵组,特点是将前级泵、抽速和配件区别开。它是针对高要求工艺(例如电子束焊接、冷冻干燥模拟室)的定制化解决方案。
标准 CombiLine 泵组
配备单级 HenaLine 旋片泵的 CombiLine WU 罗茨泵组
配备两阶段 DuoLine 旋片泵的 CombiLine WD 罗茨泵组
配备 HeptaDry/UniDry 干式压缩泵的 CombiLine WH 罗茨泵组
干式罗茨泵站 (CombiLine WH)
普发真空提供干式罗茨泵站,将罗茨泵与多级前级泵相结合。该泵站的高抽速使得较高的极限压力成为现实。干式罗茨泵站是面向高要求工艺(例如半导体行业)的一流解决方案。减少了保护设备的泵站可用于需求稍松的工艺,例如装载互锁应用,或在溅射工艺中用作前级泵。从小真空室到太能阳技术最大吞吐量和显示面板制造,我们都可以提供解决方案。
优势
干燥无油的吸入室
这些解决方案提供了最优泵容量和高可靠性。
应用
镀膜
冶金
真空干燥
脱气
光伏
研发
化学工业
油润滑罗茨泵组 (CombiLine WU / CombiLine WD)
普发真空提供罗茨泵组,将传统罗茨泵与油润滑旋片泵相结合。这些泵组提供良好的真空度,同时有较高的抽速。将旋片泵与罗茨泵结合以获得泵组,这种方式可谓经典解决方案,可以实现真空室的快速排空和中高真空下的工艺气流传输。对于许多行业工艺而言,使用油封前级泵仍然是最好的选择,因为就购买价格以及产品生命周期成本而言,它代表了最耐用和最具成本效益的解决方案。
从最基本的泵系统到最全面的泵系统,一应俱全
最优泵容量和高可靠性
装载互锁
一般工业应用
抽速对比
CombiLine WU
CombiLine WD
CombiLine WH
普发真空CombiLine系列罗茨泵组, CombiLine
普发真空CombiLine系列罗茨泵组信息由普发真空技术(上海)有限公司为您提供,如您想了解更多关于普发真空CombiLine系列罗茨泵组报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
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