罗茨泵组 CombiLine系列

罗茨泵组用于中低真空环境，并提供高抽速，尤其在过渡范围内。

CombiLine 代表了各种罗茨泵组，特点是将前级泵、抽速和配件区别开。它是针对高要求工艺（例如电子束焊接、冷冻干燥模拟室）的定制化解决方案。

标准 CombiLine 泵组

• 配备单级 HenaLine 旋片泵的 CombiLine WU 罗茨泵组

• 配备两阶段 DuoLine 旋片泵的 CombiLine WD 罗茨泵组

• 配备 HeptaDry/UniDry 干式压缩泵的 CombiLine WH 罗茨泵组

干式罗茨泵站 （CombiLine WH）

普发真空提供干式罗茨泵站，将罗茨泵与多级前级泵相结合。该泵站的高抽速使得较高的极限压力成为现实。
干式罗茨泵站是面向高要求工艺（例如半导体行业）的一流解决方案。减少了保护设备的泵站可用于需求稍松的工艺，例如装载互锁应用，或在溅射工艺中用作前级泵。从小真空室到太能阳技术最大吞吐量和显示面板制造，我们都可以提供解决方案。

优势

• 干燥无油的吸入室

• 这些解决方案提供了最优泵容量和高可靠性。

应用

• 镀膜

• 冶金

• 真空干燥

• 脱气

• 光伏

• 研发

• 化学工业

油润滑罗茨泵组 （CombiLine WU / CombiLine WD）

普发真空提供罗茨泵组，将传统罗茨泵与油润滑旋片泵相结合。这些泵组提供良好的真空度，同时有较高的抽速。将旋片泵与罗茨泵结合以获得泵组，这种方式可谓经典解决方案，可以实现真空室的快速排空和中高真空下的工艺气流传输。对于许多行业工艺而言，使用油封前级泵仍然是最好的选择，因为就购买价格以及产品生命周期成本而言，它代表了最耐用和最具成本效益的解决方案。

优势

• 从最基本的泵系统到最全面的泵系统，一应俱全

• 最优泵容量和高可靠性

应用

• 装载互锁

• 镀膜

• 冶金

• 研发

• 一般工业应用

抽速对比

CombiLine WU

CombiLine WD

CombiLine WH

普发真空CombiLine系列罗茨泵组信息由普发真空技术（上海）有限公司为您提供，如您想了解更多关于普发真空CombiLine系列罗茨泵组报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途