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IMP-EPD是一款差泵、加固型二次离子质谱仪,用于分析离子束蚀刻过程中的二次离子和中性离子。
仪器简介:IMP离子蚀刻探针(Ion Milling Probe),自带差式泵,坚固的二次离子质谱仪,适于分析离子蚀刻过程中的二次离子和中性粒子.独有的专业终点检测(End Point Detection)仪器,用于离子蚀刻控制以及过程质量最优化监测。
主要特点:
·差式泵歧管,经连接法兰,接到过程室·离子光学器件,带能量分析器和内置离子源·Penning规和互锁装置,以提供过压保护·数据系统与过程控制工具整合
参数:• 高灵敏度的 SIMS/MS,带脉冲离子计数检测器• 三级过滤四极杆,标准配置质量数为300 amu• 稳定性(24h以上,峰高变化小于 ±0.5%)• 通过 RS232、RS485或以太网, 软件MASsoft控制• 程控DDE, 平行数字式I/O, RS232通讯
应用:• 终点检测(End Point Detection)• 靶的纯度鉴定• 质量控制/ SPC.• 残余气体分析• 泄漏监测
IMP-EPD 等离子体刻蚀终点检测仪,IMP-EPD
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