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Automegasamdri-934,SeriesC产品特点:◆新配置的专用“慢充”控制,提供理想的二氧化碳流体动力学,保护易脆样品;◆外部配置了PURGE后的过滤装置,保护样品,易更换和维护;◆独家专利的“VortexSwirl”非机械搅拌,使PURGE完全不损样品;◆高效内部封闭冷却循环系统,可快速冷却腔体温度,缩短操作时间;◆内置SOTER冷凝器,分离废弃乙醇和废气,消除排气噪音;◆独特的样品室填块,可改变样品室直径,减少液态二氧化碳消耗和处理时间,兼容不同尺寸晶圆处理;◆内部过滤系统,过滤流进样品室的液态二氧化碳,过滤颗粒最低尺寸达0.08μm;◆一次可处理5片4英寸晶圆,改变样品室尺寸,每次运行也可分别处理3英寸、2英寸晶圆及10mm方晶;◆标配特氟龙兼容的4英寸、3英寸、2英寸晶圆样品架和10mm方晶样品架各1个;◆垂直样品室,内腔有照明,样品室盖子带观察窗;◆明亮的LCD触屏控制;◆内置出厂自动运行程序并可创建和保存个性化程序;◆所有内部表面适用于CO2,丙酮和超纯乙醇;◆可重复设置的参数,保证结果的可重复性;◆集成自动控温和静态压力控制模块,确保自动、安全运行;◆洁净室和防静电兼容设计;◆所有电气部件符合UL、CE和U.S.Military标准;产品规格:◆外部尺寸:宽19.8”(50.3cm)×深31.7”(80.6cm)×高44.5”(113.0cm);◆安装占地尺寸:宽27”(68.6cm)×深38”(96.5cm);◆样品室尺寸:内径4.5”×深1.25”,样品室容积:326ml;◆LCO2的流速是通过带游标卡尺的微型计量阀门来控制;◆120V/50-60HZ(可选其他电压);标准配件:◆高压不锈钢LCO2管(内衬Teflon)3米长;◆双T型过滤装置,双重过滤微小颗粒,过滤装置可预先与LCO2管连接,安装方便;◆安装工具;◆防静电排气管,用于PURGE/VENT/BLEED和COOL时的排气;◆样品室O型圈3个,样品室LED照明灯1个,3A和8A保险丝各2个;◆3个Teflon样品室填块,使得样品室直径包括4、3、2和1.25英寸;◆直径为4、3、2英寸晶圆样品架和边长为10mm方晶样品架,样品架HF兼容;◆用户手册;
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