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紫外臭氧清洗机(UVO)是一种简单、经济、快速高效的材料表面清洗设备,能快速去除大多数无机基材(如石英、硅片、金、镍、铝、砷化镓、氧化铝等)上的有机污染物。CIF紫外臭氧清洗机采用长寿命UV石英低压汞蒸汽格栅灯,样品台高度可调并可选加热控温,以便达到最佳清洗效果。按键式紫外臭氧清洗机、触屏式紫外臭氧清洗机产品特点:- UVO基础型采用可编程数字控制器,设置操作简单方便,四键操作控制。- UVOP和UVOT系列采用5寸彩色触摸屏设置显示计时时间及加热温度。- 自动补偿功能,自动恒定光强光密度,不会因为低压汞灯老化光强衰减影响清洗效果。- 数字倒计时显示清洗时间,1-999分钟之间可自行设置清洗时间。- 可随时手动中断处理过程。- 自动记录之前清洗参数设置。- 样品台可控温(可选),控温范围RT-260℃,控温精度0.1℃。- 顶置下压式铰链开关盖方式,操作简单方便。- 上置式样品台设计,360度自由放置样品,操作方便。- 样品台高度可调,通过调节灯与样品之间的间距,可以合理定位样品高度和位置,并可锁定。- UV石英低压汞蒸汽格栅灯,灯管寿命大约为8000小时。- 高强度UV灯源,波长185nm和254nm。- UV反射罩(长x宽)比UV格栅灯大2.5cm,比如规格为13x13cm格栅灯反射罩尺寸大于15×15cm。- 双重安全保护,当清洗腔打开时,系统安全锁会关掉UV灯,并有灯光通断提示。- 带进&出气口双气路设计,可接入氧气或者臭氧,增加臭氧产量。- UVO5可选外置臭氧中和器,UVO9、UVO12系列可选外置或者内置臭氧中和器,用于臭氧清除。- 可根据客户要求定制铝或石英材料真空反应腔。技术参数:产品型号:UV灯尺寸cm样品台高度cm主机重量kg外型尺寸(LxWxH)cmUVO13/UVO13P/UVO13T:33x335cm内可调18.570x60x20注:UVO基础型样品台不带加热功能,样品台高度可调;UVOP可选配样品台加热功能,样品台高度可调;UVOT标配样品台加热功能,样品台高度可调。
紫外臭氧清洗紫外臭氧清洗机CIF,UVO13
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