纳米印刷沉积系统VSParticleVSP-P1(VSParticle)

气溶胶纳米喷印纳米印刷技术是柔性电子领域重要的区域性沉积方法。
VSP-P1采用独家的气溶胶冲压沉积技术，将原材料转变成纳米级气溶胶颗粒，并在真空系统配合下实现图案的绘制。
该方法避免了传统喷墨打印导电油墨以及后续热处理去除油墨的弊端，保证图案的纳米结构最大程度的保留，避免产生气孔等缺陷。
气溶胶颗粒通过火花烧蚀的方式在前端产生，颗粒经由惰性气体带动运输至喷嘴处，经过真空系统作用，腔室的气压会保持在10mbar以下，而经由喷嘴喷出的气溶胶会在基底表面冲压沉积。
利用XYZ轴控制喷嘴的移动，即可实现图案的绘制。利用该方法，可轻松实现：1. 金属，合金，氧化物颗粒的印刷沉积
2. 无添加剂，无废液
3. 一步沉积，设备模块化，前端的气溶胶发生器可独立拆卸工作，进行其它方向的纳米研究
4. 颗粒初始粒径可保持在0-20nm之间，形成多孔结构
气溶胶喷印技术可用于高通量合金催化剂的筛选，SERS表面增强拉曼光谱的检测以及气体传感器金属氧化物传感器的应用。

纳米印刷沉积系统VSParticleVSP-P1,VSP-P1

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