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【技术参数】样品室玻璃腔体尺寸为120mm×120mmH,有高强度不锈钢结构(也可选150mm×165mm)。样品台尺寸可以容纳12个标准钉形样品台,高度可以在60mm内调节。溅射头为低电压平面磁控管,可以快速更换靶材,环绕暗区有护罩。溅射靶材包括金(标配)、铂、金/钯、铂/钯、银等,直径为57mm×0.1mm厚度。溅射控制系统采用微处理器控制,可以远程电流/电压感应,最大电流为40mA,并且具有程序化数字控制。此外,还配备真空安全联锁装置和过流保护。真空能够模拟计量在Atm-0.001mb范围内,电流控制范围为0-50mA。控制方式有自动气体换气和放气功能,还带有带有“暂停”控制的数字定时器(0-300s)。机械泵的工作媒介为氩气,纯度最低为99.9%。工作电压为220V,50/60HZ。另外,还可选配膜厚监控仪,通过6MHz石英晶体进行原位监控,显示纳米级厚度,可以精确到0.1nm。适用于配套Zeiss、JEOL、Hitachi、FEI、Tescan、Phenom等扫描电镜。【产品详情】Agar全自动喷金仪(离子溅射仪)是一台进口设备,操作简单,适用于扫描电镜样品制备,可以喷金、铂、金/钯、铂/钯、银等。如果需要使用喷金仪,有以下小贴士:1)需要喷金的样品a)第一类样品是电子束敏感的样品,即生物样品和塑料样品等。SEM中的电子束具有较高能量,与样品的相互作用会导致热的传递,部分甚至整个样品结构会被破坏。使用非电子束敏感材料制备的表面镀层可以起到保护层的作用,防止这种损伤;b)另一类样品是非导电的样品,由于不导电,表面会带有“电子陷阱”,又称为“充电”。为了消除荷电效应,可以在表面镀一层金属导电层,作为导电通道,来消除表面充电电子。在扫描电镜成像时,溅射材料可以提高信噪比,获得更好的成像质量。2)常用的溅射材料是金,具有很高的导电性。喷金仪的真空度越高,溅射的金属颗粒越小,可以减少样品表面形貌的失真情况。当需要超高分辨率成像时,首选高真空喷金仪,同时还可以选用其他溅射材料,如铬、铱等,产生更细小的溅射晶粒。
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