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【技术参数】样品室玻璃腔体尺寸为120mm×120mmH,采用高强度不锈钢结构样品台,可容纳12个标准钉形样品台,样品台高度可在30mm内调节。蒸镀源采用高纯度碳棒,直径为6.15mm,蒸镀控制系统为微处理器控制,支持远程电流/电压感应,最大电流为180A,支持程序化数字控制,配备真空安全联锁装置和过流保护,模拟计量真空范围为Atm-0.001mb,电流范围为0–200A。可通过自动蒸镀控制和手动操作,以及控制数字定时器(1–30秒)和电压设定(0.1to5.5V)实现自动蒸镀控制,还具备自动放气功能。机械泵抽速为2L/s,在25-30秒内真空度可降至0.1mb。工作电压为220V,50/60HZ。膜厚监控仪(选配)通过6MHz石英晶体进行原位监控,可显示纳米级厚度,碳厚度可精确到0.1nm。适用于Zeiss,JEOL,Hitachi,FEI,Tescan,Phenom等扫描电镜。【产品详情】Agar全自动喷碳仪为英国进口设备,操作简便,适用于扫描电镜样品制备等。喷碳仪采用高纯度碳棒,可更容易地在高倍放大下实现高质量的镀膜效果,以便对样品进行形貌观察和进行能谱EDS或EBSD分析。喷碳仪使用的碳棒,相对真空度要求较高,喷碳颗粒较为细小,同时需要样品加热温度较高。支持配套使用样品台、碳棒和膜厚监测仪。
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