FT-NMT04原位纳米力学测试系统是一种多功能原位SEM/FIB纳米压痕仪，能够精确量化微米和纳米级材料的力学行为。
作为世界上第一个基于MEMS的纳米压痕仪，FT-NMT04纳米压痕仪基于获得专利的FemtoTools微电子机械系统（MEMS）技术。利用二十多年的技术创新，这种原位纳米压痕具有无与伦比的分辨率，可重复性和动态响应。FT-NMT04原位纳米压痕仪针对金属，陶瓷，薄膜以及超材料和MEMS等微结构的机械测试进行了优化。此外，通过使用各种附件，FT-NMT04的功能可以扩展到各个研究领域的多样化要求。
典型应用包括通过微柱的压缩测试或狗骨样本，薄膜或纳米线的拉伸测试来量化塑性变形机制。此外，弯曲期间的连续刚度测量使得能够在微梁的断裂测试期间量化裂缝生长和断裂韧性。由于无与伦比的低噪声基底分别为500pN和50pm，FT-NMT04可实现浅纳米压痕，具有前所未有的可重复性。
*纳米压痕，压缩测试，拉伸测试，断裂测试，疲劳测试。
*使用SEM，EBSD或STEM进行定量机械测试和同步成像。
*获得专利的基于MEMS的传感技术可实现0.5nN至200mN的最高分辨率和重复力，以及0.05nm至21mm的位移。
*能够进行连续刚度测量（CSM）或高达500Hz的疲劳测量，无需复杂的动态校准。
*真正的位移控制测试，可实现快速应力下降的量化（也可以选择基于力反馈的力控制测量）。
*3轴,4轴或5轴（x,y,z,旋转,倾斜）,闭环传感器,使用所有轴上的位置编码器进行样品对齐高温测试可达400℃。
*能够将样品有序地定向到纳米压头尖端，电子束和EBSD检测器，以评估特定颗粒和位置的硬度（仅适用于5轴配置）。
*简单确定压头区域功能和框架顺应性。
*强大的数据分析工具，用于评估测量结果并应用拟合或函数来计算材料属性。
*SEM样品台安装可以快速安装和移除SEM室内的系统。
*紧凑的模块化设计使其几乎可以集成到任何SEM中。
*可定制的测量程序和原则。
 | 微柱压缩 • 确定滑移系统的临界分辨剪切应力（CRSS） • 表征单轴应力下的变形机制 • 韧性损伤和应变局部化的量化 |
 | 微悬臂断裂试验 • 用连续J积分法测定亚微米断裂韧性 • 表征单调和循环断裂行为 • 量化各个裂纹的萌生和传播 |
 | 纳米压痕 • 以低容量确定硬度和杨氏模量 • 量化接触力学和动态响应 • 多轴应力下变形机制的表征 |
 | 微拉伸试验 • 确定屈服应力，极限拉伸应力和断裂伸长率 • 在单调和循环加载下表征断裂模式 • 定量应变局部化效应和裂纹萌生和传播事件 |
 | 用STEM / EBSD进行相关的机械测试 • 应变定位的定量研究 • 相变的定量研究 • 纹理演变的定量研究 • 位错动力学的定量研究 |
FT-NMT04纳米压痕仪可以设置为三种不同的主要配置。每种配置都是专为一组应用程序设计的，并提供一组独特的功能。此外，通过添加或移除FT-SEM-ROT旋转台或FT-SEM-ROT / TILT旋转和倾斜台，每个配置只需几个简单步骤即可实现。
FT-NMT04-XYZ
 | 主要特征 • 力感应范围：+/-200mN • 强制本底噪声（10Hz）：500pN • 位移范围：25μm • 位移噪声层（10Hz）：50pm • 连续刚度测量和高达500Hz的疲劳测试 • 3轴传感器与样品对齐 • 尺寸：120 x 44 x 72 mm | 主要应用 • 微柱压缩 • 微悬臂断裂试 • 疲劳测试 • 纳米压痕 • 微拉伸测试 |
FT-NMT04-XYZ-R
 | 与FT-NMT04-XYZ相比的附加功能 • 样品旋转范围：360 • 样本旋转噪声基底（10Hz）：35μ • 带有3个样品的样品旋转器 • 4轴传感器与样品对齐 • 尺寸：134 x 72 x 44 mm | 与FT-NMT04-XYZ相比的其他应用 • EBSD或TKD相关的纳米机械测试 • STEM相关纳米力学测试 • 使用Fem-toTools FT-TT02纳米拉伸测试芯片进行纳米拉伸测试 • 更快地测试多个样品（样品旋转器） |
FT-NMT04原位纳米压痕技术规格
FT-NMT04-XYZ原位纳米力学测试系统 轴数（粗调） 3 驱动原理（粗调） 压电棒滑动 XYZ驱动范围（粗调） 21mmx12mmx12mm 最小步进 (粗调) 1 nm 驱动原理（精调） 压电扫描 驱动范围 (精调) 25 µm 最小步进（精调） 0.05 nm 位移记录器分辨率 (10 Hz) 0.05 nm 位移测量范围 0.05 nm - 21 mm 最大测力范围*1) ±200mN 最小测力分辨率 (10 Hz)*2) 0.5 nN *1) 使用FT-S200'000微力传感器探针
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FT-NMT04-XYZ-R原位纳米力学测试系统 与FT-NMT04-XYZ相比的附加规格 轴线 (粗调) 4 样品旋转范围 360° 样品旋转分辨率(10 Hz) 35 µ° |  |
与 FT-NMT04-XYZ相比的附加规格 轴数 (粗调) 5 样品旋转范围 180° 样品旋转分辨率(10Hz) 35 µ° 样品倾斜范围 90° 样品倾斜分辨率(10Hz) 35µ° |  |
FT-NMT04原位纳米压痕仪,FT-NMT04
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