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产品场发射扫描电子显微镜技术参数型号:Sigma 300分辨率:1.0nm@30kVSTEM、1.0nm@15kV、1.8nm@1kV放大倍数:10-1,000,000×加速电压:调整范围:0.02-30kV(无需减速模式实现)探针电流:3pA~20nA(100nA选配) 稳定性优于0.2%/h低真空范围:2-133Pa(Sigma300VP可用)样品室:365mm(φ),275mm(h)样品台:5轴优中心全自动X=125mm Y=125mm Z=50mm T=-10o-90o R=360o连续系统控制:基于Windows7的SmartSEM操作系统,可选鼠标、键盘、控制面板控制存储分辨率:32kx24kpixels
扫描电镜Sigma 系列产品场发射扫描电子显微镜,Sigma 系列
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