Lake Shore的EMPX-H2探针台增加了一个±0.6 T水平方向磁场的电磁铁，所有标准的C-V、I-V、微波和电光探测，加上面内水平场电磁测量，都可以在EMPX-H2探针台上进行。研究人员可以使用EMPX-H2来测试磁输运参数，ST-FMR测试等。它是Lake Shore探针台中用于矢量相关磁输运测量的低温探针台。

为了最大限度地提高样品磁场，EMPX-H2的探针配置为30°倾角，用于探测直径达25mm（1英寸）的晶圆片。360°旋转样品台选项允许测量角度相关和各向异性的磁输运特性。EMPX-H2在4.5 K至400 K的温度范围内运行，配置低温选件可将基本温度扩展至3.2 K。EMPX-H2采用连续流制冷，可使用液氦或液氮进行冷却。

设备优势

√ 温度范围4.5 K~400 K

√ 可选低温3.2 K

√ 水平磁场±0.6 T

√ 最大1英寸（25.4 mm）样品

√ 无需系统降温即可施加磁场

√ 样品360°旋转磁各向异性测试

主要参数及描述

磁场
磁体类型	电磁铁
磁场方向	水平方向（平行于样品面）
磁场控制	霍尔探头安装在探针台内用于磁场闭环控制
磁场大小	最大±6 kOe (±0.6 T)
磁场均匀性	0.6% 10 mm直径；2.6% 25 mm直径
探针针尖移动	<5 μm 整个磁场范围内
温度范围
最多安装4个探针臂	基础温度4.5 K，控制温度范围5 K~400 K
安装PS-LT低温选件	基础温度3.2 K，控制温度范围3.3 K~400 K
温度稳定性	液氦	液氮
基础温度 (无加热控制)	±20 mK	±50 mK
<10 K	±50 mK	—
10 K ~ 100 K	±50 mK	±100 mK
101 K ~ 250 K	±50 mK	±100 mK
251 K ~ 400 K	±50 mK	±100 mK
真空	以TPS-FRG分子泵为标准
抽真空时间	30 min (<1 × 10^-3Torr)
室温	<5 × 10^-4 Torr
基础温度	<1 × 10^-5 Torr
最高温度	<5 × 10^-3 Torr
循环时间
总循环	3 h
抽真空	0.5 h
探针台冷却	1.25 h
探针台升温	1.25 h
样品
最大尺寸	51 mm(2英寸)
样品背光接口	不可选
样品旋转	360°样品旋转选件(PS-360-EMPX)
样品振动	＜300 nm 标准
探针配置
最大探针数	4
探针臂温度计	用于监视探针臂的温度
冷却探针支架	＜20 K(样品在基础温度下)
探针支架	连接样品台热沉
探针臂支架	连接防辐射屏热沉
DC/RF探针	电绝缘>100GΩ用于低漏电流测量
微波探针	频率范围从DC到67GHz
光纤探针	可用于电光测量
落针范围	所有探针均可在直径为 25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针

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Lake Shore低温磁场探针台 EMPX-H2

EMPX-H2低温磁场探针台