CPX低温探针台采用模块化设计以满足广泛实验的需求，是Lake Shore功能最多的高性能低温探针台。CPX多样的选件和配置可使研究者完成精确的、富有挑战性的测量。CPX具有多个防辐射屏蔽层，以实现优异的低温性能，其低温选件可使样品温度低至1.6 K。探针台内多个温度计的安装可确保准确和重复的测量。

由于采用了分流设计，样品可在防辐射屏冷却时保持温度，与高真空选件，最大限度地减少了冷却过程中的样品冷凝，这是测量亲水性有机材料的关键要求。理想的应用包括有机物研究和微波测量。真空Load Lock可配置用于高通量测量。此外，CPX可以被配置为能够在真空下将受控的样品输送到腔室。CPX可容纳直径为51 mm（2英寸）的晶圆（最多102 mm[4英寸]可选）。该系统使用液氦或液氮运行。

主要特征

√ 温度范围4.3 K~475 K

√ 可选低温1.9 K/1.6 K

√ 标准2英寸（51 mm）样品，4英寸（102 mm）可定制

√ 样品可面内±5°旋转

√ 样品振动＜30 nm可选

√ 超高真空选件

√ 可定制真空腔联用转移样品，避免样品暴露在大气环境

√ 环形磁体选件最大0.19T

主要参数及描述

温度范围
最多安装6个探针臂	基础温度4.3 K，控制范围4.4 K ~ 475 K
安装PS-LT低温选件	基础温度1.9 K，控制范围2 K ~ 475 K
安装PS-VLT-CPX极低温选件	基础温度1.6 K，控制范围1.65 K ~ 400 K
安装PS-LL-CPX选件（Load Lock）	基础温度10 K，控制范围10 K ~ 400 K
温度稳定性	液氦	液氮
基础温度 (无加热控制)	±15 mK	±20 mK
<10 K	±50 mK	—
10 K ~ 100 K	±20 mK	±50 mK
101 K ~ 250 K	±15 mK	±50 mK
251 K ~ 350 K	±15 mK	±100 mK
351 K ~ 675 K	±50 mK	±100 mK
真空	以TPS-FRG分子泵组为标准	PS-HV-CPX高真空选件
抽真空时间	30 min (<1 × 10^-3 Torr)	10 min (<1 × 10^-3 Torr)
室温	<5 × 10^-4 Torr	<5 × 10^-6 Torr
基础温度	<1 × 10^-5 Torr	<5 × 10^-7 Torr
最高温度	<1 × 10^-5 Torr	<5 × 10^-7 Torr
循环时间
总循环	3 h
抽真空	0.5 h
探针台冷却	1.25 h
探针台升温	2 h
Load Lock样品更换时间	1小时（配有PS-LL-CPX选件）
样品
最大尺寸	51 mm（2英寸）标准 25.4 mm（1英寸）安装PS-VLT-CPX高真空选件 25.4 mm（1英寸）安装PS-LL-CPX Load Lock选件
样品背光接口	不可选
样品旋转	±5°面内旋转
样品振动	＜300 nm标准，＜30 nm配有PS-PVIS减震选件
探针配置
最大探针数	6
探针臂温度计	用于监视探针臂的温度
冷却探针支架	＜20 K(样品在基础温度下)
探针支架	连接样品台或4K防辐射屏热沉
探针臂支架	连接防辐射屏热沉
DC/RF探针	电绝缘>100GΩ用于低漏电流测量
微波探针	频率范围从DC到67GHz
光纤探针	可用于电光测量
落针范围	所有探针均可在直径为 25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针

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Lake Shore多功能低温探针台 CPX

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