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发布时间:2023年01月
箱体
描述
材料:不锈钢1.4301 (SUS type 304), 厚度 3 mm 尺寸: 1200mm(L) x 750mm(W) x 900mm(H)
体积
0.8 m³
前窗
面板:8 mm厚安全钢化玻璃 或 10 mm厚度聚碳酸酯 (可供选择) 尺寸:1123mm(L) x 839mm(H)
手套口
硬铝合金材质或聚甲醛材料 (可供选择) 口径 220 mm, O型圈密封
手套
材料:丁基橡胶 厚度: 0.4 mm 或 0.8mm(可供选择)
过滤器
出口和入口过滤器,过滤<0.3μm
照明
LED照明位于前窗顶上部
泄漏率
按照泄漏率< 0.001 vol%/h的标准进行最终验收测试
GP20气体净化系统
自动去除 H2O 和 O2 ;单净化柱系统,自动再生(可选GP200双净化柱);密闭的气体循环管路
使用电压
AC 230 V / 50-60 Hz, 10 A 或 AC 115 V / 50-60 Hz, 20 A (可供选择)
工作气体
工作气:N2、Ar 、He(纯度≥99.999%);再生气:H2 占5%—10%,其余的为工作气(纯度≥99.999%)
真空泵
规格:旋片真空泵, 配带油雾过滤器, 带气镇控制;流量:12 m³/h (7 cfm), 真空度< 2 x 10-3 mbar(可选干泵)
循环单元
无油高速风机;风量:0 - 100 m³/h
阀门
电磁高真空阀门
控制柜尺寸
600mm (L)x 800mm (D) x 870mm(H)
清洗系统
设置好相应时间和压力,系统可以对箱体自动进行气体置换。
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