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借助Sievers 超纯水硼分析仪对硼进行持续的在线监测
Sievers硼分析仪可用于去离子超纯水应用,实现对超低硼含量的连续自动在线监测。该分析仪每小时能够检测10个样品,具有15 ppt硼的检测极限(LOD)。Sievers硼分析仪设计用于满足设备管理人员、去离子水工程师和晶圆制造工程师的需求。
易于操作和维护
Sievers硼分析仪可以预测混床失效、优化EDI性能并控制抛光循环水的硼水平。这款硼分析仪可以在二氧化硅释放前检测到硼含量的增加,这有助于防止二氧化硅渗漏到超纯水中。Sievers硼分析仪可显著降低运营成本,保持超纯水系统的质量。
硼分析仪的特点与优势
连续在线监测低至15 ppt的硼
多流路选项——最多四个样品流
丰富的输出选择——四个独立的4-20 mA输出,一个独立的RS-232,一个通用并行打印机端口,两个报警输出和四个独立的二进制输出
最少的维护与耗材需求
配件包包含安装所需的配件
半导体超纯工艺水
超纯水电力应用
15 megaohms–cm
20.625 H x 17.25 W x 12.25 D英寸(53 x 44 x 31 cm)
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