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台阶仪:光刻胶与硅片一机测量解决方案


领域:其他    资料类型:其他资料   

台阶仪搭载高灵敏度LVDC电容传感器,在保证大量程(最大2620μm)的同时,实现了高0.005nm(0.05Å)的垂直分辨率,精准捕捉纳米级波动。配备500万像素高清彩色摄像机与4um的光学分辨率,让微小区域的定位与观察变得清晰直观。



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