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深紫外单纵模固体激光器Ixion193IXION 193 为全固化单频激光器,其线宽达到变换极限,可用于光学计量、193nm 步进光学系统校准、高功率准分子激光器种子等。典型应用:• 光谱仪校准;• 光刻;• 干涉仪;• 193nm 计量测量• 准分子激光器种子源
深紫外单纵模固体激光器Ixion193典型参数
脉冲宽度光谱带宽长时间功率稳定性光束质量
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深紫外单纵模固体激光器Ixion193
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