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仪器简介:Hiden EQP是一台结合质量和能量分析的仪器(Mass and Energy Analyser for Plasma Diagnostics),用于分析等离子过程中阴、阳离子、中性粒子以及自由基。
主要特点:
· 通过视口、接地电极和驱动电极进行分析
· 软件控制的离子汲取光学系统,以使等离子体扰动最小· 45°静电扇区分析器,扫描能量增量 0.05 eV / 0.25eV FWHM· 所有能量范围内,离子行程的最小扰动,及恒定离子传输· 带差式泵的三级过滤四极杆,质量数范围至2500amu· 高灵敏度 / 稳定的脉冲离子计数检测器,有7个数量级的动态范围· 可调谐的离子源,用于电子附着选件的表观电势质谱分析· Penning规和互锁装置可提供过压保护· 信号选通分辨率1μs,用于研究脉冲等离子体或能量、质量分布随时间的变化· 1000eV 选配, 漂浮电压可选至10keV, Faraday 杯用于高密度等离子体· Mu-Metal, Radio-metal 屏蔽可选,高压操作可选· 通过RS232、RS485或Ethernet LAN,控制软件MASsoft
技术参数:
应用: · 蚀刻 / 沉积作用研究 · 离子植入 / 激光烧蚀 · 残余气体分析 / 泄漏检测 · 等离子体电感耦合,即在操作中遵从电极设定条件 · 通过视口、接地电极和驱动电极进行分析
EQP等离子体质量和能量分析质谱仪,EQP
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QGA定量气体分析质谱仪 HAPR0128
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