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NMC-3000等离子辅助MOCVD概述:NANO-MASTER针对InGaN及AlGaN沉积工艺所研发的台式等离子辅助金属有机化学气相沉积系统(PA-MOCVD),该系统具有5个鼓泡装置(各带独立的冷却槽)、加热的气体管路、950度样品台三个气体环、淋浴式气体分布的RF射频等离子源以及工艺终端的N2冲洗、250l/sec涡轮分子泵及无油真空泵(5 x 10-7Torr极限真空)、PC全自动控制,完全的安全互锁。
目前,这项技术延伸到5个4"晶圆的立柜式独立批处理系统,该系统可以集成到集群配置中以满足高产量的要求。
NMC-3000等离子辅助MOCVD应用:Green LED’s (GaN, InGaN, AlGaN, ...)
NMC-3000等离子辅助MOCVD系统特点:
· 台式系统
· 5个带独立冷却槽的起泡器
· 加热的气体管路
· 950 °C样品台,2”晶圆片
· 3个气体环
· RF等离子源,带淋浴头气体分布
· 工艺完成后N2自动冲洗
· 极限真空5x10-7Torr
· 260 l/s的涡轮分子泵串接无油干泵
· 通过LabView软件实现PC计算机全自动控制
· 菜单驱动,4级密码访问控制
· 完整的安全联锁
NMC-3000等离子辅助MOCVD, NMC-3000
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