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发布时间:2023年10月
DB500拥有自主可控的场发射电子镜筒和“承影”离子镜筒,是一款优雅全能的纳米分析和制样工具。高压隧道技术(SuperTunnel)、低像差无漏磁物镜设计,低电压高分辨率成像,保证纳米分析能力。“承影”离子镜筒采用液态镓离子源,拥有高稳定、高质量的离子束流,保证纳米加工能力。集成式的纳米机械手、气体注入器、电子物镜防污染机构,拥有24个扩展口,配置全面,自主可控,扩展性强,为您打造全能纳米分析和加工中心。
性能特点
高压隧道技术 镓离子束
配置全面 气体注入器
集成式机械手 质保无忧
产品优势
01 高压隧道技术和无漏磁物镜的电子镜筒,高分辨率成像,兼容磁性样品
02 “承影”离子镜筒,高稳定、高质量的离子束流,用于高质量纳米加工和TEM制样
03 样品仓内压电陶瓷驱动的机械手,集成式控制方式,操作精准到位
04 自主可控,扩展性强,集成化设计的离子源更换时间快,极致的售后服务,提供免费的三年质保无忧服务
技术介绍
离子镜筒"承影"
技术特点
分辨率:3 nm@30 kV
探针电流:1 pA~50 nA
加速电压范围:500 V~30 kV
使用寿命:≥1000小时
长时间稳定性:72小时不间断工作
纳米机械手
仓内安装方式
三轴全压电驱动
步进精度≤10nm
最大移动速度2mm/s
集成式控制方式
离子束-电子束协同
气体注入器
单气体注入
多种气源可选
伸缩距离≥35 mm
重复定位精度≤10 um
加热温度控制精度≤0.1℃
加热温度范围:室温~90℃
应用案例
金线/30 kV/800X/ETD
芯片/1 kV/1500X/ETD
芯片/1 kV/15000X/ETD
产品参数
国产聚焦离子束电子束双束显微镜 DB500,DB500
国产聚焦离子束电子束双束显微镜 DB500信息由国仪量子技术(合肥)股份有限公司为您提供,如您想了解更多关于国产聚焦离子束电子束双束显微镜 DB500报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
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