三维形貌的仪器
中图仪器SuperViewW白光干涉三维形貌测量系统是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。产品功能(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸......
SuperViewW国产白光干涉三维形貌仪用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。产品特点1、干涉物镜不通倍率的镜头，适应于从超光滑到粗糙度各种表面类型的样品。2、双通道气浮隔振系统外接气源和加压装置直接充气的双通道气浮隔振系统，可有效隔离......
SuperViewW国产白光干涉三维形貌仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。SuperViewW具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量......
WD4000晶圆三维显微形貌测量系统兼容不同材质不同粗糙度、可测量大翘曲wafer、测量晶圆双面数据更准确。它通过非接触测量，将晶圆的三维形貌进行重建，强大的测量分析软件稳定计算晶圆厚度，TTV，BOW、WARP、在高效测量测同时有效防止晶圆产生划痕缺陷。WD4000晶圆三维显微形貌测量系统可广泛应用于衬底制造、晶圆制造、及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精......
中图仪器SuperViewW白光干涉三维形貌轮廓仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。SuperViewW具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表......
其它参数测量原理：尼普科夫转盘共聚焦光学系统型号：VT6100品牌：中图仪器高度测量分辨率：0.5nm宽度测量分辨率：1nm显微物镜：10×;20×;50×;100x光源：白光LED物镜塔台：5孔，电动负载：10kgXY移动平台控制方式：电动Z位移轴行程：100mm，电动仪器尺寸：520×380×600mm仪器重量：50kg工作温度：15℃~30℃相对湿度：......
