扫描电镜 缺陷检测
岛津电子探针EPMAEPMA-1720系列适用于 玻璃条纹缺陷的形貌及元素分析 项目，参考多项行业标准/ VBA。可以检测 玻璃 等样品。可应用于多个行业领域。 本文使用岛津扫描探针显微镜SPM和电子探针EPMA对三类玻璃条纹缺陷进行了测试和分析。在玻璃制品生产过程中，产生条纹的因素有很多，对于玻璃条纹缺陷形态、成分及元素分布特征的表征可以为条纹缺陷产生的原......
国仪量子 扫描电子显微镜 SEM3200可用于测定光伏电池，适用于表面缺陷和结构形状项目。并且参考多项行业标准太阳能电池绒面的研究。可应用于电子/半导体行业领域。 五分割半导体背散射探测器——多通道成像探测器设计精巧，灵敏度高，采用5分割设计，无需倾斜样品，可获得不同方向的阴影像以及成分分布图像。单通道阴影像成分像能谱LED小灯珠能谱面分析结果。 ......
国仪量子 场发射扫描电镜 SEM5000可以用在航空/航天行业领域，用来检测光伏电池，可完成表面缺陷和结构形状项目。符合多项行业标准太阳能电池绒面的研究。 SEM5000是一款分辨率高、功能丰富的场发射扫描电子显微镜。先进的镜筒设计，高压隧道技术（SuperTunnel）、低像差无漏磁物镜设计，实现了低电压高分辨率成像，同时磁性样品可适用。光学导航、完善的......
运用ADR和高精度ADC来为提高良率做贡献的Inline缺陷观测SEM。ADR 代表 Automatic Defect Review。缺陷检查的目的是更详细地观察、分类和分析晶圆检测系统检测到的缺陷和颗粒的形状和成分。自动缺陷检查使用在缺陷检查中获得的缺陷信息（坐标等）自动获取所需缺陷的图像。数据被存储并排列到数据库中。在 缺陷观测SEM......
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解决方案
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