Attocube Systems皮米精度激光干涉仪 IDS 3010参考多项行业标准。完成位移台的检测。可以用在航空/航天行业领域中的误差精度项目。 皮米激光干涉仪 德国attocube公司在皮米精度位移激光干涉仪FPS的基础上,新推出了体积更小、适合集成到工业产品与同步辐射应用中的IDS型号皮米精度位移激......
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