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NPGS纳米图像电子束曝光系统

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电子显微镜附件及外设

型号:NPGS纳米图像电子束曝光系统

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NPGS纳米图像电子束曝光系统       电子束曝光系统是利用计算机控制电子束成像电镜及偏转系统,聚焦形成高能电子束流,轰击照射涂有高分辨率和高灵敏度化学抗蚀剂的晶片直接描画或投影复印图形的技术。它的特点是分辨率高、图形产生和修改容易、制作周期短。    ......