单轴Z向压电扫描台/纳米平移台单轴(Z轴)压电扫描台超低热漂移的单轴(Z轴)压电扫描台!AU-NPS-Z系列单轴压电扫描台采用压电陶瓷直推驱动,以柔性铰链为运动副,使其具有结构紧凑、体积小、无机械摩擦、定位分辨率高等优点。全行程采用电容位移传感器闭环反馈设计,精度可达到亚纳米量级。其前安装面可以与AU-NPS-XY-100A相结合,提供三维的定位控制。Nan......
单轴压电扫描台/纳米平移台单轴(X轴)压电扫描台超快、超精密一维亚纳米定位工作台!AU-NPS-X系列纳米定位工作台采用压电陶瓷直推驱动,以柔性铰链为运动副,使其具有结构紧凑、体积小、无机械摩擦、定位分辨率高等优点。全行程采用电容位移传感器闭环反馈设计,精度可达到亚纳米量级。结合数字闭环控制器,纳米定位工作台的响应时间和稳定时间可达到毫秒量级。Nanopos......
旋转压电线性位移台Rotator25主要特征• 紧凑设计, 尺⼨ : 25*25*16.5 mm• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E- 11 mbar & 30 mK• ⽆磁材料(纯 Ti & BeCu),最⾼兼容 18 Tesla 磁场• 超⾼负载 & 超⾼推⼒ : 250 g & 1......
“25mm 系列”— Linear25-z-LR (闭环控制)低温 · 压电运动- 线性位移系列⾼负载和完美闭环控制的压电位移台压电线性位移台Linear25-z-LR主要特征• 紧凑设计, 尺⼨ : 25*25*29.6 mm• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E- 11 mbar & 30 mK• ⽆磁材料(纯 Ti&......
室温 ·压电运动⽅案 —“Carrier. 系列“ 大行程载物台 — 精密光学,半导体表征产品特⾊• XY ⽅向⼤⾏程 75 mm × 50 mm• 最⼩步伐尺⼨约20 nm• 最⾼速度 20 mm/s• 闭环传感,空间分辨率 100 nm / 10 nm• 全⾏程运动中,保证通孔 85 mm × ......
室温 ·压电运动⽅案 —“Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学,半导体表征⼤范围压电扫描台Carrier.S200.XY产品特⾊• 两维度XY 扫描运动 200 um × 200 um;• 闭环定位精度优于 1nm;• 最⼤负载 500 g;• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案;• ⽀持⽆磁( .NM)和......
外形紧凑,动⼒性能不折扣的压电线性台;同时保证优质的价格空间。压电 · 线性位移台— LS25x.Lab.R (闭环)产品特⾊• 超安静运动,20 kHz驱动频率• 25 × 25 mm × 8 mm极紧凑外形设计• 闭环控制 · 位置传感⽀持电阻型(.R)• 经济型 · 空间传感分辨率(.R) 150 nm• 最⼩步伐优于 15 nm• 可提供多轴堆叠安装......
产品概述“Force系列”直线位移台 — LS65x.Force产品特色· 高性能驱动力· 直驱传动无间隙· 大负载垂直提升· 优异的导向系统· 闭环控制,内置光栅位置传感器· 完整运动台设计,方便安装使用产品图片&尺寸产品参数1可选版本.NM,绝对无磁版本;.HV,高真空版本;.UHV,超......
X轴扫描台 — S100/200/300.X & S500.X产品特色· 压电陶瓷堆叠驱动· 无摩擦柔顺结构导向· 亚纳米级位置分辨率· 长行程运动范围· 内置电容传感器,闭环控制· 直接位置检测产品图片&尺寸产品参数产品参数S100.XS200.XS300.XS500.X1. 可选......