Xper WLI 白光干涉仪 Xper WLI 白光干涉仪Xper WLI 是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量......
中图仪器SuperViewW白光干涉微观形貌及粗糙度仪以白光干涉技术为原理,结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。典型结果包括:表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,台阶高度,锥角等等)几何特征(关键孔径......
SuperViewW白光干涉测量膜厚仪器3D重建算法自动滤除样品表面噪点,在硬件系统的配合下,测量精度可达亚纳米级别。它以光学干涉原理为基础,结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量产品功能1)样件......