能量色散荧光光谱仪通常采用半导体能量转换器。硅中掺入少量的其他元素可形成晶体二极管。当探测器加上300~400V的电压时,无电流通过。当一个X射线光子射到探测器上并被吸收时,则形成若干电子空穴对。电子和空穴分别迅速移向表层和底层而形成一个电脉冲。这种探测器的实际分辨率受电子噪声和热噪声的限制,通过采用低温冷却技术和半导体制造工艺的改进,提高它的实际分辨率。 ......
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