技术参数: 大范围高精度扫描探针显微镜 安捷伦5500LS Specifications Stage - Standard vacuum chuck size: 150 mm - Sample thickness: up to 35 mm - Ex......
Simply the best AFM for automatic defect review and surface roughness measurement对于媒介和基体领域的工程师而言,识别纳米级缺陷是一个非常耗时的工作。Park NX-HDM原子力显微镜系统可借助数量级实现自动缺陷识别、扫描和分析,从而加快缺陷的检查过程。Park NX-H......
自动观察自动完成光路调整、扫描参数设定、图像处理 使用标准样品和标准探针时操作用时5分钟**自动观察模式,扫描范围1um× 1um ,256×256点阵。操作时长依赖于操作者。 传统的原子力显微镜需要人工调整光路、设定扫描参数、进行图像处理。但是SPM-Nanoa可以帮助用户毫无压力地完成这些操作性能优异从光学显微......
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Park原子力显微镜 扫描探针显微镜/SPM(原子力显微镜)
型号:Park NX系列
原子力显微镜样品制备详细流程 本手册共有32页,详细说明了原子力显微镜样品的制备流程。本手册为大家提供免费学习教程,旨在为使用原子力显微镜的研究人员或即将使用原子力显微镜的研究者们提供更有效的样品制备使用说明。 原子力显微镜以其较强的原子和纳米尺度上的分析加工能力,在纳米科学技术的发展中占据及其重要的位置,......
全自动工业 WLI-AFM 系统Park NX Hybrid WLI是有史以来第一款具有内置WLI轮廓仪的AFM,用于半导体和相关制造质量保证。例如半导体前端、后端到高级封装的过程控制,以及研发计量。它适用于那些需要在大面积上进行高吞吐量测量的设备,这些设备可以缩小到具有亚纳米分辨率和超高精度的纳米级区域。 半导体计量的两种最佳互补技术。WLI: 白光干......
NX-Hybrid WLI 功能Park WLI系统Park WLI支持WLI和PSI模式(PSI模式由电动过滤器变换器 支持)可用物镜放大倍数:2.5X 、10X、20X、50X、100X两个物镜可由电动线性换镜器自动更换WLI光学干涉测量扫描 Mirau 物镜高度时,由干涉引起的光强变化可以计算每个像素处的样品表面高度白光干涉测量 (WLI) 和相移干涉......
Park NX-Mask基于AFM的 EUV 掩膜修复及其他性能 Park NX-Mask是一款用于修复高端EUV掩膜的创新型机台。Park NX-Mask 采用最新的原子力显微镜技术,配有新一代的光罩修复系统,用于解决随着器件尺寸缩小和光掩膜复杂性增加带来的新式挑战。从自动缺陷检测到缺陷修复再到修复验证的一站式解决方案为您提供了前所未......
产品介绍Park NX-Hybrid WLIAFM 和 WLI 技术集成系统用于 200mm至 300mm 晶圆的全自动工业化 AFM-WLI 系统是业内最快捷、最准确、最通用的半导体计量工具。Park NX-Hybrid WLI 是迄今为止首个内置白光干涉仪轮廓测量的 AFM 系统,可用于半导体元件的研发计量、过程控制和制造质量保证。Park NX-Hyb......
Park SmartLitho™Park SmartScan™ 的友好型界面支持用户进行纳米光刻和纳米操作SmartScan 可以自动进行成像所需的所有操作,并智能地确定最佳的图像质量和扫描速度。 Park的专有技术实现了SmartScan的自动化测量。可以帮助用户在最短时间内获得最佳的实验成果。最简易的纳米光刻和纳米操作的智能化软件由Smart......
Park SmartLitho™Park SmartScan™ 的友好型界面支持用户进行纳米光刻和纳米操作SmartScan 可以自动进行成像所需的所有操作,并智能地确定最佳的图像质量和扫描速度。 Park的专有技术实现了SmartScan的自动化测量。可以帮助用户在最短时间内获得最佳的实验成果。最简易的纳米光刻和纳米操作的智能化软件由Smart......