【国仪FIB秀】国仪双束电镜助力28nm制程芯片分析
2025-03-26 16:26:18, CIQTEK 国仪量子技术（合肥）股份有限公司
基于国仪量子自主可控的双束电镜系统，成功实现28nm工艺节点芯片的透射电镜（TEM）纳米级样品制备。经TEM验证可清晰解析各结构关键尺寸，为半导体工艺缺陷分析与良率提升提供国产化精密检测方案。
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