实测案例 | 第三讲：温度监测电源模块烧毁原因分析

半导体行业的生产设备有刻蚀、薄膜沉积、清洗、湿制、封装和测试、抛光、硅晶圆制造等，这些精密生产设备中有电气元器件、执行部件、监测控制仪器等，对供电的稳定性和质量要求很高。

但是电源模块经常损坏，大多发生在工作流程快结束的几个小时工作区间内，而且损坏是随机的。

现场设备及供电情况：

由于生产设备对供电质量要求很高，车间由两路UPS供电，一路大约带100台原晶生产设备。

另外一路，除了单晶炉，还带有机械泵等其他动力设备。

监测方案：

既然是损坏发生在工作流程快结束的几个小时，因此，请用户挑选了一台即将结束工作流程的设备，将一台电能质量分析仪Fluke 1777连接在三相供电电源处，监测有没有发生过压和过流。

先对仪器做基本的设置：

浪涌电流详情如下：

浪涌发生时电压电流的趋势图

电流波形图

电压电流谐波

后续建议

敏感精密测试仪器使用单独供电（稳定，波动小）

减小其他机械泵等负载启停对生产设备的影响

在测温仪24V供电前面增加一个隔离模块