表面测量利器:椭圆偏振光谱仪 UVISEL PLUS

2023-10-23 14:32:34, HORIBA HORIBA科学仪器事业部





    产品名称:椭圆偏振光谱仪

    产地:法国

    型号:UVISEL PLUS


典型用户:NASA 戈达德太空飞行中心



01
仪器用途及应用范围:


UVISEL 是20 多年技术积累和发展的结晶,即使在透明的基底上也能对超薄膜进行最精确的测量。作为一款高准确性、高灵敏度、高稳定性的经典椭偏机型,它采用了PEM 相位调制技术,与机械旋转部件技术相比, 能提供更好的稳定性和信噪比。

先进功能材料
  • 薄膜厚度、光学常数表征
  • 材料/ 表面改性研究
  • 粗糙度、孔隙率表征
  • 渐变层、界面层等分析
  • 穿过率、反射率曲线测量



汽车

  • 薄膜厚度、光学常数表征
  • 表面粗糙度、孔隙率表征
  • 渐变层、界面层分析
  • 透射率、反射率测量
  • 涂层及镀层分析



半导体材料
  • 硅片上SiO2 薄膜厚度监控
  • 光刻胶n,k(190-2100nm)
  • SiN,SiO2 等膜厚测试
  • 第三代半导体外延薄膜厚度



能源/光伏
  • 薄膜厚度、光学常数表征

  • 工艺对镀膜的影响分析

  • 渐变层、界面层等分析

  • 膜层不均匀性成像分析

  • 在线监测



02
产品特点:



50 KHz 高频PEM 相调制技术,测量光路中无运动部件

具备超薄膜所需的测量精度、超厚膜所需的高光谱分辨率


多个实用微光斑尺寸选项


可用于在线实时监测


自动平台样品扫描成像、变温台、电化学反应池、液体池、密封池等


配置灵活,测量范围可扩展至190 nm~2100 nm




03
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04
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