直播预告|解锁磁悬浮分子泵的“奥秘”

分子泵按照轴承润滑方式的不同可分为油润滑、脂润滑及磁悬浮分子泵。随着真空技术的不断进步和真空应用工艺需求的不断提升，磁悬浮分子泵的应用越来越广泛。

磁悬浮分子泵有哪些优点？

我国首台磁悬浮分子泵是如何突破技术壁垒的？

磁悬浮分子泵与半导体制造工艺有着怎样的联系？

6月18日，磁悬浮分子泵技术及应用直播与您相约，让我们一起解锁磁悬浮分子泵的“奥秘”。

时间：6月18日  10:30-11:30

电脑端参与方式：http://t.talk-fun.com/8exj

登陆密码：1858

附：中科科仪磁悬浮分子泵发展进程

2011年，研制出国内首台磁悬浮分子泵，具有完全自主知识产权，并在工业、泛半导体领域广泛应用；

2018年，研制出新一代系列一体磁悬浮分子泵，达到国际一流水准，在工业过程及镀膜领域规模应用，并在半导体关键设备相关领域推广；

2020年，建设苏州高端装备产业园区，推进磁悬浮分子泵规模产业化，为半导体制造设备核心零部件的国产化增速发力。