微光显微镜emmi应用领域

微光显微镜emmi应用领域对于失效分析而言，微光显微镜是一种相当有用，且效率极高的分析工具，主要侦测IC内部所放出光子。在IC原件中，EHP Recombination会放出光子，例如：在PN Junction加偏压，此时N的电子很容易扩散到P， 而P的空穴也容易扩散至N，然后与P端的空穴做EHP Recombination。 侦测到亮点之情况    会产生亮点的缺陷：1.漏电结；2.解除毛刺；3.热电子效应；4闩锁效应；5氧化层漏电；6多晶硅须；7衬底损失；8.物理损伤等。

侦测不到亮点之情况

不会出现亮点之故障：

1.亮点位置被挡到或遮蔽的情形（埋入式的接面及大面积金属线底下的漏电位置）； 

2.欧姆接触；

3.金属互联短路；

4.表面反型层；

5.硅导电通路等。    

亮点被遮蔽之情况：埋入式的接面及大面积金属线底下的漏电位置，这种情况可采用Backside模式，但是只能探测近红外波段的发光，且需要减薄及抛光处理。

测试范围：

故障点定位、寻找近红外波段发光点测试内容：

1.P-N接面漏电；P-N接面崩溃2.饱和区晶体管的热电子3.氧化层漏电流产生的光子激发4.Latch up、Gate Oxide Defect、Junction Leakage、Hot Carriers Effect、ESD等问题

赵工

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zhaojh@kw.beijing.gov.cn

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