2022-11-01 09:26:43, 领拓仪器 广州领拓仪器科技有限公司
机械零部件通过表面加工技术,可使其获得良好的力学性能、优异的光学性能或者提高其对复杂的工作环境的耐受能力。通过各种喷涂、沉积等方法获得镀层是实现零部件表面性能提升的重要手段。
获得镀层后,其厚度、均匀性、界面结合情况等信息,可通过对其进行适当的截面制备来获得。其中CP可完美地制备微米、甚至纳米级别的镀层截面。
因此本次试验以某毫米探针部件为样品,通过离子束切割获得无损的平整面,以满足后续的SEM测试与分析。原试样(尺寸不超过4mm)如下图所示,需要测量箭头所指平面的镀层厚度,指定位置在任意方向直径1/4处。
制备流程
镶嵌
将样品镶嵌成约14X5X3mm大小的尺寸,如下图2所示。
机械研磨
样品极小,用普通研磨机难以高效精准定位加工,因此使用徕卡精研一体机Leica EM TXP对样品进行预处理,处理流程示意图如下:
1
样品截面加工
图3. 样品离子束加工前的TXP机械加工流程
左:样品原始形貌,红点为目标点;
左二:TXP加工去掉的多余截面部分;
右二:TXP加工去掉的多余侧面部分;
右:TXP机械加工完成后
使用徕卡EM TXP扁平样品夹固定样品,通过TXP加工截面,使目标位置与截面距离控制在20-100um范围内,流程如下图:
图4. TXP加工截面流程图
2
样品坡面加工
使用徕卡EM TXP插件样品夹固定样品,调节样品臂角度为-10°,通过TXP加工坡面,使目标位置与坡面距离控制在20-50um范围内,流程如下图:
图5. TXP加工侧面流程图
样品离子束加工
图6. TXP加工后的样品离子束加工时的示意图
样品离子束加工结果
图8. 徕卡EM TIC3X离子束加工效果(SEM)
小结
1、样品极小,形状不是简单的长方体状,且指定测试位置在样品内部,需用树脂镶嵌成易处理的长方体状后切割。尽量选用与样品切割速率相近的镶嵌树脂。
2、预处理用徕卡精研一体机EM TXP代替普通研磨机更高效精准,形状尺寸按图3所示加工后,才可大大提高离子束加工速率。
3、镀层极薄,仅需沿厚度方向加工约30um即可。
本次试验所用设备如下
Leica EM TXP 精研一体机
Leica EM TIC3X离子束切割抛光仪
-END-
* 关注领拓仪器,解锁更多精彩应用
电话:400-8084-333
QQ:1742929109
微信:lvictorgz
官网:http://www.l-victor.com
04-03 宏集科技
ICP-MS法在茶叶非金属元素分析中的应用04-03 管理员
奶茶中茶多酚含量测定方法的优化04-03 管理员
【设备更新仪器推荐】高性能全自动拉曼光谱仪——XploRA PLUS04-02 HORIBA
钙钛矿、发光材料、光电器件、电学器件、污染物去除【学术简讯24年05期】04-02 HORIBA
邀请函丨共襄2024北京国际环保展览会(CIEPEC),携手共创绿色未来04-02
赴塞上江南,启卓越之程丨2024连华科技春季技能培训大会圆满落幕04-02
智能管理 · 智慧生活 | 宏集SCADA技术线下研讨会,诚邀您参与!04-02 宏集科技
启用新一代测序化学、推出高通量流动槽,升级后的NextSeq 2000/2000-CN需要重新审视04-02 lizimo
发了Nature又发Science!全新一代10 nm空间分辨超快光谱和成像系统助力突破前沿科学04-02 Dr. Lu
JACS重要成果!超精准可调节温度控制助力钙钛矿相变的光致发光成像!04-02
使⽤Luminata提升稳定性研究效率04-02 ACD/Labs
展会预告 | 盛瀚邀您共聚青岛市分析测试学会年会系列学术报告会暨科学仪器展!04-02 SHINE
叮~基泰生物清明节放假通知,请查收!04-02 基泰生物
【内附详细日程】因科技 · 纳万物 | 2024进化发育学术论坛04-01
如何在环境监测的背景下,全面掌握三维荧光光谱?【4月16日 | 在线讲座】04-01 HORIBA
大昌华嘉开展鲁道夫(Rudolph) Autopol系列旋光仪质量服务月04-01 大昌华嘉
邀请函 | 2024中国油气开发技术年会暨油气开发新成果及新技术展示会04-01 大昌华嘉
邀请函 | IBQC第三届国际生物药质量大会04-01 大昌华嘉
邀请函 | 2024青岛市分析测试学会04-01 大昌华嘉