2022-08-12 03:03:49 聚束科技(北京)有限公司
了解芯片
芯片在电子学中是一种将电路(主要包括半导体设备,也包括被动组件等)小型化的方式,并时常制造在半导体晶圆表面上。半导体产业中,集成电路(IC)占比超过80%,所以集成电路基本上等同于半导体产业。所以经常说到的芯片,集成电路,IC,半导体产业都是同种意思,都是是指将一定数量的元器件及其连线,通过半导体工艺集成在一起的具有特定功能的电路,可细分为逻辑电路、存储器、微处理器、模拟电路。
芯片出现的原因
从晶体管到集成电路再到高度集成。晶体管的出现开启了半导体工业的篇章,接着将分立器件集成化、缩小结构尺寸、提升数量、降低功耗,成为技术发展的迫切需求,集成电路应运而生。所谓集成电路,是指在单个半导体晶片上,将晶体管、电阻、电容及连接线等有机结合的电路结构,其本质上是晶体管制造工艺的延续。
芯片观察
随着集成电路发展成今天的超大规模集成电路,其器件结构的尺寸日渐缩小,光学显微镜因受分辨率的限制,已经不能满足其拍摄需求。器件的生产过程中包括了切割、研磨、抛光以及各种化学试剂处理等一系列工艺,会使得器件的表面结构发生一些变化,所以几乎每一个步骤都需要观察器件表面的形貌结构分布情况。聚束科技高通量(场发射)扫描电镜具有大区域扫描、高分辨率等优势,不仅弥补了光学显微镜的不足,而且是一种十分直观的高分辨率检测手段,因此在芯片观察领域中的应用显得日益重要。
下面来看NavigatorSEM-100下的芯片截面微观结构。
01
样品制备
注:此次观察截取1/4芯片进行Cross-Section成像
02
实验过程
使用仪器:聚束科技高通量(场发射)扫描电子显微镜NavigatorSEM-100
1.
2.设置拍摄条件:
size :4096*4096
pixel size :3nm
03
成像展示
BSE&SE双通道同步成像
BSE成像
SE成像
//
根据不同客户需求,聚束科技可以提供定制化软件服务。配套提供各类自动识别测量算法、及时验证产品设计、更好的掌控工艺过程,缩短产品开发打样周期,提高研发效率。
高通量(场发射)扫描电子显微镜NavigatorSEM-100与其它扫描电镜对比
NavigatorSEM-100
图像 放大倍率(Mag)30000X
其他扫描电镜
图像 放大倍率(Mag)10000X
在加速电压都是5KV,且NavigatorSEM-100放大倍数更高的条件下,可以看到NavigatorSEM-100成像信噪比、衬度更佳、 噪点更少。
//
NavigatorSEM-100高通量电镜优势:
大范围采集,全景信息;整体全貌,兼具高分辨率;全面分析,可与宏观关联。
芯片的观察要求电镜具备良好的低压分辨率、超低的畸变(便于图片拼接)、更快的成像速度。聚束科技高通量(场发射)扫描电子显微镜 NavigatorSEM设计思路源自于工业级半导体产线用电子束检测设备,从“基因”上具备此领域所需要的各项性能,并在关键指标上全面优于传统扫描电镜。
芯片拼接全景图
扫码关注我们
联系方式|4006 507 865
邮箱|contact@focus-ebeam.com
06-27
大盘取厚势 落子开新局:战略聚焦开启品牌发展新篇章——访Veralto大中华区总裁秦晓培06-27 星羽
实验操作 | 质粒构建、转化、提取、鉴定、转染、测定(完整版)06-27 小 M
有投必奖 | 大家都用 MCE 产品做了啥? (感染领域)06-27 小 M
科研助攻 | 一文讲清:如何破解 PPI 靶点成药难题06-27 小 M
干货分享 | 谈谈天然产物的改构策略06-27 小 M
玉研口鼻暴露系统 | 精准、可控、高通量的动物肺部疾病造模工具,助力创新药物研发06-26 玉研仪器
医药行业指南:电位滴定仪选型攻略来啦~06-26
屹路同行 悦启新程06-26 屹尧科技
徕卡精准空间生物学解决方案 第四弹06-26 童昕、南希
【直播预告】第一届大湾区生物电镜制样讲习班06-26 徕卡显微系统
徕卡常规显微镜历经严苛的ISO9022标准测试06-26 徕卡显微系统
Viventis LS2 Live 光片显微镜发布会06-26 徕卡显微系统
前沿应用 | 经皮无创血糖检测中葡萄糖拉曼峰直接观测06-26 鉴知技术
SNEC光伏展圆满落幕 | OTT HydroMet闪耀时刻精彩回顾06-26 OTT HydroMet
激光指向稳定在光刻系统应用中的关键作用,及其优化方案!06-26 圈内人都会关注
推陈出新!通微公司携新品亮相本届CPHI06-26 Unimicro
远离氟污染!开启无氟接触前处理技术新篇章06-26
浑然一体的ChemiSEM技术:集成式扫描电镜成像与 X 射线能谱解决方案06-26
荧光计 VS 分光光度计,倒底怎么选?06-25