2022-03-21 17:17:24, 作者:明尼克 北京明尼克分析仪器设备中心
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钝化技术是以材料表面涂覆CVD涂层来实现的,CVD是一种通过化学气相沉积的方法应用于材料表面的技术。
CVD(化学气相沉积)是一种将挥发性前体(通常是在真空下)注入腔体内的反应过程,腔室加热到反应温度,使前体气体发生反应或分解生成所需的涂层并与材料表面结合。随着时间推移,涂覆材料建立在表面上并在暴露部分的表面形成涂层。
例如,如果想把硅附着在材料表面,需要使用三氯硅烷(SiHCl3)前体,当SiHCl3在腔室加热时,分解和涂层反应如下:
SiHCl3 → Si + Cl2 + HCl
硅将结合到任何暴露的表面(内部和外部),而氯气和盐酸气体将从腔室排放并根据适当的法规要求进行清除。
CVD涂层系统中使用的材料从硅化合物到碳化合物,到氟碳或有机氟,以及类似氮化钛这样的氮化物。一些材料如硅,可以通过掺杂表面(改变或添加额外的化学物质)来进一步增强涂层的功能,以达到特定的性能目标。
化学气相沉积不同于物理气相沉积(PVD)等其他常见的涂层应用方法,与化学气相沉积相比,大多数常见的涂层喷涂工艺会导致视线外盲区不均匀的涂覆存在,化学气相沉积涂层理论上可以应用于涂层气体能进入的任何区域,上图形象表示出两种涂覆的区别。
SilcoTek®公司CVD涂层工艺的特点:
▲在高温下应用以促进反应;
▲涂装前必须清除零件表面的污染物;
▲涂层气体将覆盖零件的所有区域,包括螺纹、盲孔和内部表面;
▲涂层在反应过程中粘结到表面,与典型的PVD涂层相比,创造了优越的附着力。
SilcoTek®公司CVD涂层的优势:
▲可广泛应用于各种基材,包括金属和金属合金、陶瓷,玻璃;
▲可喷涂精密表面和复杂表面,包括密封区域和内部表面;
▲能承受低温、高温和极端温度变化;
▲持久的涂层与基材结合意味着涂层在高应力环境中保持结合,即使基材表面弯曲也能适应。
北京明尼克分析仪器设备中心全面代理美国SilcoTek®公司钝化产品,长年备有钝化产品现货,同时承接硅钝化表面处理技术定制服务,在硅表面钝化处理领域为您提供全方面支持与服务。
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