2021-12-28 01:24:30, zolix 北京卓立汉光仪器有限公司
在光学玻璃的背面,镀一层金属银(或铝)薄膜,使入射光反射的光学元件。
反射镜(mirror)它是一种利用反射定律工作的光学元件。反射镜按形状可分为平面 反射镜、球面反射镜和非球面反射镜三种;按反射程度,可分成全反反射镜和半透半反反射镜(又名分束镜)。过去制造反射镜时,常常在玻璃上镀银,它蹬制作标 准工艺是:在高度抛光的衬底上真空蒸铝后,再镀上一氧化硅或氟化镁,特殊应用中,由于金属引起损失可由多层介质膜代替。因反射定律与光的频率无关,此种元 件工作频带很宽,可达可见光频谱的紫外区和红外区,所以它的应用范围愈来愈广。在光学玻璃的背面,通过真空镀膜镀一层金属银(或铝)薄膜,使入射光反射的 光学元件。采用高反射比的反射镜可使激光器的输出功率成倍提高;且是第一反射面反射,反射图像不失真,无重影,为前表面反射作用。如采用普通反射镜为第二 反射面,不仅反射率低,对波长无选择性,而且易产生重影。而采用镀膜膜面反射镜,得到的图象不仅亮度高,而且精确无偏差,画质更清晰,色彩更逼真。前表面反射镜广泛为光学高保真扫描反射成像之作用。
金属膜反射镜
反射/ 分束镜一般分为0°和45°入射角,如无特殊说明, 一般均为45°。
反
射镜按照表面镀膜一般分为金属膜反射镜和介质膜反射镜。通常来说,金属膜的反射率对入射角度不敏感,而介质膜的反射率同入射角有很大关系,如果角度偏差较
大,则反射率可能会有很大的差异。如标称为45°入射角的介质膜反射镜,一般角度范围为45±3°,超过这个角度,反射率将会有较大变化。
另外,还有一部分介质膜,入射角范围为:0 ~ 45°,但入射角度不同时,反射率曲线会发生平移,使用时需要注意。
金属膜反射镜:
● 金属膜反射镜一般反射特征曲线比较平坦,宽带,反射率高
● 金属膜反射镜的反射率不太受波长和入射角度变化的影响
● 金属膜反射镜膜表面的机械硬度不高,一般不可擦拭,带有保护膜产品只能用包含有机溶剂的棉棒清洁
● 金属膜反射镜不适用于强光,激光能量大于1J/cm2时,请选用介质膜反射镜
介质膜反射镜:
● 介质膜反射镜是利用了交替重叠的多层膜的干涉原理制成
● 介质膜反射镜的反射率较高,可以接近100%,膜层的机械硬度高,耐清洁作业
● 介质膜反射镜和金属膜相比,其反射带宽窄,而且与入射角度密切相关
● 介质膜反射镜除0°入射外,其反射率及反射带宽还受入射光的偏振状态影响
● 介质膜反射镜可以用于较强的激光,但由于损伤阈值的测试属于破坏性试验,我们列出的数据供您参考,如需要知道具体损伤阈值请与销售联系
镀铝膜反射镜:
铝膜的特性:
● 反射特性曲线平坦,波长范围较宽,反射率高,价格便宜
● 反射率受波长及入射角变化的影响小
● 膜表面的机械硬度都不高,保护铝膜(Al+MgF2)可用含有有机溶剂的棉棒清洁,但纯铝膜(普通铝膜),比较软,不可擦拭,需要定期更换
● 不适用于强激光
铝膜的反射率指标(供参考):
铝膜和保护铝膜反射率参考曲线: | 增强铝膜反射率参考曲线: | |
紫外增强铝膜反射率参考曲线: | ||
1. 铝膜及保护铝膜反射镜选型表:
命名规则:OMAlxxx(直径)-xx(厚度)P(保护)E(增强)UVE(紫外增强型)表:
2. 美国CVI增强铝膜反射镜
增 强铝膜反射镜是一种在铝膜表面镀有多层介质膜的光学元件,可以应用于可见光部分,膜层具有比较好的机械硬度,可以更好的保护镜片。平均反射率可以达到 93%,最高的反射率可以达到95%。增强铝膜的优势就在于它不但在可见光部分有很高的反射率,而且更加耐用。我们推荐的增强铝膜反射镜,为美国CVI 公司产品。 |
技术指标:
● 直径公差:+0/-0.15 mm
● 厚度公差:T±0.25mm
● 平行度:< 3 arc minutes
● 通光孔径:不小于表面的85%
● 镀膜:增强铝膜
● 平均反射率:≥92% (450~650 nm)
● 表面质量:40-20
● 材料:BK7
选型表(CVI):
3. 美国CVI紫外增强铝膜反射镜:
紫外增强铝膜反射镜是在普通铝膜基础上另外镀了一层介质膜,它比普通铝膜在紫外有更好的反射率。在200 ~ 400nm 平均反射率可以达到86%。我们推荐的紫外增强铝膜反射镜,为美国CVI 公司产品。 |
技术指标:
● 直径公差:+0/-0.15 mm
● 厚度公差:T±0.25mm
● 面精度:λ/10
● 表面质量:40-20
● 平行度:<3 arc minutes
● 通光孔径:不小于表面的85%
● 镀膜:紫外增强铝膜
● 材料:BK7
选型表(CVI):
镀银膜反射镜:
1. OMAg系列保护银膜反射镜
命名规则: OMAgxxx(直径)-xx(厚度)P(保护)
选型表: | 保护银膜反射率参考曲线: | |
2. 美国CVI保护银膜反射镜
选型表(CVI): | 反射曲线: | |
镀金膜反射镜:
1. OMAu系列镀金膜反射镜
命名规则:OMAuxxx(直径)-xx(厚度)P(保护)
镀金膜的反射特性(供参考):
镀金膜反射镜反射率参考曲线:
2. 美国CVI镀保护金膜反射镜
保护金膜反射镜是在原有金膜基础上镀有介质膜。在650 ~ 1700nm 平均反射率大于95.5%,在2 ~ 20μm 反射率 高达98%。 ● 直径公差:+0/-0.25 mm ● 厚度公差:T±0.25mm ● 平行度:< 5 arc minutes ● 通光孔径:≥直径85% ● 镀膜:保护金膜 ● 材料: BK7 |
选型表(CVI):
介质膜反射镜
介质膜反射镜,通常对入射角比较敏感,未特别说明的情况下,默认的介质膜反射镜入射角为45°。介质膜反射镜通常分为:
● 激光反射镜:带宽一般为几纳米至几十纳米
● 宽带反射镜:
紫外区:一般带宽为几十至一百纳米
可见光区:一般带宽为一、二百纳米
红外区:一般带宽为二、三百纳米以上
● 超宽带反射镜:
紫外区:一般带宽为一百纳米以上
可见光区:一般带宽为三、四百纳米以上
红外区:一般带宽为四、五百纳米以上
● 飞秒激光专用反射镜
介质膜激光反射镜:
1. OML系列介质膜激光反射镜
命名规则:OML直径-波长-厚度
选型表:
注:还有不同尺寸、厚度的同类产品,选购时请咨询我们。
2. 日本SIGMA KOKI介质膜激光反射镜
说明:
● 激光介质膜反射镜是一种在面精度为λ/10 的BK7 基板上,顺序镀上不同折射率的多层电介质膜的全反射镜。
● 此种膜层比Al+ 氟化镁(MgF2)膜更耐强激光,面精度是镀膜前的反射面的面精度。入射角度为45°±3°,平行度≤3′
曲线图:
选型表:
3. 美国Semrock超高反射率激光反射镜
Semrock 采用特有的“离子束溅射镀硬膜”技术结合超高的加工制造工艺,生产出反射率高达:99.97% ~ 99.999% 的激光反射镜。
产品特点: ● 超高反射率:99.97%~99.999% ● 多种激光波长:355nm、405nm、532nm、 1064nm、1550nm ● 低色散、低吸收:可达1ppm ● 应用:光腔震荡(Cavity Ring-Down)应用的理 想反射镜 ● 面型:曲面和平面可选,曲率半径为50cm、 100cm和∞(平面镜) |
技术参数:
● 入射角:0.0°±1.5°
● 面精度:λ/10(反射面)
● RMS表面粗糙度:<1×10-7mm
● 材料:熔融石英
● 膜层:离子束溅射镀硬膜
● 表面质量:10-5(反射面);20-10(背面)
● 直径公差:25.4mm +0/-0.1mm
● 厚度公差:6.35mm±0.25mm
参考曲线图:
选型表(Semrock):
介质膜宽带反射镜
1. OMB系列可见光宽带介质膜反射镜(Optical Mirror: Broadband):
命名规则:OMB直径-波长1波长2(取微米数)-厚度
选型表: | 曲线图: | |
2. 美国Semrock可见光和近红外宽带反射镜
美国Semrock 公司采用特有的“离子束溅射镀硬膜”技术生产出可见光和近红外范围的宽带反射镜。 特点: ● 宽带光谱范围:可见光350~700nm;近红外650~1300nm ● 全宽带范围内实现高反射率:平均值>98% ● 方形:25.2×35.6mm ● 厚度:1.1mm |
曲线图:
技术参数:
● 入射角:45°±1.5°
● 材料:熔融石英
● 膜层:离子束溅射镀硬膜
● 表面质量:60-40
● 尺寸公差:25.2mm×35.6mm ±0.1mm
● 厚度公差:1.05mm±0.05mm
●
Surface Figure:Imaging Flat(Contributes less than 1.5x Airy Disk
diameter tothe RMS spot size of a focused reflected beam with a diameter
up to 10mm)
选型表(Semrock):
3. 美国CVI宽带 反射镜
紫外宽带介质膜反射镜 技术指标: ● 平均反射率:≥98%(245~390nm) ● 材料:熔融石英 ● 面精度:λ/4 ● 表面质量:60-40 ● 平行度:3′ ● 膜层:MAXBRIte/007 ● 尺寸公差:ø+0/-0.15mm ● 厚度公差:T±0.25mm ● 损伤阈值:0.92J/cm2,10nsec@532(typical) | 曲线图: |
选型表(CVI):
可见宽带介质膜反射镜
技术指标: ● 材料:熔融石英 ● 面精度:λ/4 ● 表面质量:60-40 ● 膜层:MAXBRIte/009 ● 尺寸公差:ø+0/-0.15mm ● 厚度公差:T±0.25mm ● 损伤阈值:0.4 J/cm2, 10 nsec @ 532 (typical) | 曲线图: |
选型表(CVI):
介质膜超宽带反射镜
1. 日本SIGMA KOKI超宽带介质膜反射镜
参考曲线图:
相关参数: ● 材料:BK7 ● 面精度:λ/10 ● 平行度:≤3′ ● 反面状态:光面 ● 入射角:45±3° |
选型表(SIGMA KOKI):
飞秒激光专用反射镜
飞秒低分散反射镜说明: ● 飞秒低分散反射镜专为飞秒脉冲激光设计 ● 飞秒低分散反射镜采用多层镀膜技术,专为减少波长分散而设计 ● 此种反射镜采用等离子镀膜法制造,和通常的真空镀膜相比,其对应波长范围宽,更适用于飞秒激光系统 ● 两个子系列产品,一种具有高的激光损坏阈值,称为FLM1系列;另外一个系列具有比较宽的反射域,称为FLM2系列镀膜前面精度λ/10,反射率≥99.8% | ||
飞秒负分散反射镜说明: ● GFM和GCM系列反射镜具有负分散特性,可用于压缩飞秒激光的脉宽 ● 和传统的飞秒激光脉宽压缩棱镜相比,此种反射镜更小巧,光损失也更小 ● 中心波长针对钛:蓝宝石激光设计,为800nm ● 可提供用于共振腔的平面镜和凹面镜 | 尺寸图: |
选型表(SIGMA KOKI):
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