2021-12-27 12:35:05 布鲁克(北京)科技有限公司-光谱仪器
在半导体材料领域,硅基半导体材料目前产量最大、应用最广,90%以上的半导体产品仍用单晶硅作为衬底材料制作。目前大尺寸硅片已成为硅片市场最主流的产品。硅片生产中在拉晶过程中,需要解决氧含量及径向均匀性、杂质的控制、缺陷控制、氧沉淀控制、电阻值定量、掺杂及径向均匀性等众多问题,同时对检测表征等保障技术也提出了更高的要求。直拉晶体硅中掺氮可用来调控原生氧沉淀和空洞型缺陷,从而提高硅晶体的质量,已经在产业界广泛应用,除了间隙氧、代位碳、III-V族元素检测以外,氮的测量也是硅材料界的一个热点课题。
众所周知,直拉单晶硅中含有较高浓度(浓度范围1017-1018cm-3)的间隙氧(Oi),当氮掺入直拉硅单晶中时,除了以氮-氮对(N-N)形式存在以外,氮还会和氧作用形成氮氧复合体(N-O complexes)。研究显示氮氧复合体会引起红外的局域模振动吸收和电子跃迁吸收,可以被红外吸收光谱技术探测到。在低温(10K左右)条件下,氮氧复合体在远红外波段有一系列由于电子跃迁产生的吸收峰,目前已经报导了7种氮氧复合体[1,2,3]。
针对直拉单晶硅中杂质元素以及氮氧复合体的测量,布鲁克CryoSAS全自动、高灵敏度工业低温硅质量控制分析系统,通过测试位于中/远红外波段间隙氧(1136.3cm-1, 1205.6cm-1)[7],代位碳(607.5cm-1)[6,7],III-V族元素[4,5]以及氮氧复合体吸收谱带(249.8,240.4cm-1[1,2]),通过直接或间接计算获得相应元素含量值。
布鲁克CryoSAS系统主要特点:
波段范围1250-230cm-1,覆盖了间隙氧(Oi)、代位碳(Cs)、III-V族浅能级杂质元素(硼B,磷P,砷As,铝Al,镓Ga,锑Sb,符合SEMI/ASTM MF1630-0704标准)以及N-N对,氮氧复合体[N-O-(1-6)]吸收谱带[4,5,6,7]
闭循环低温冷却系统,T<15K,无需昂贵的液体制冷剂[4]
不锈钢、真空样品室设计
坚固、精确的步进电机,带有9位样品架
简单易用
(文献[1])
(文献[3])
如果您对此方法感兴趣,欢迎您来电垂询,交流、沟通。
布鲁克光谱400热线:400-777-2600
参考文献:
[1] H. Ch. Alt et al. Analysisof electrically active N-O complexes in nitrogen-doped CZ silicon crystals byFTIR spectroscopy, Materials Science in Semiconductor Processing 9 (2006)114-116.
[2] H. Ch. Alt et al. Far-infraredabsorption due to electronic transitions of N-O complexes in Czochralski-grownsilicon crystals: influence of nitrogen and oxygen concentration, Appl. Phys.Lett. 87, 151909(2005).
[3]《半导体材料测试与分析》,杨德仁等著
[4] https://www.bruker.com/zh/products-and-solutions/infrared-and-raman/silicon-analyzer/cryo-sas-cryogenic-silicon-analyzer.html
[5] SEMI MF1630-0704 Test Methodfor Low Temperature FT-IR Analysis of Single Crystal Silicon for III-V Impurities
[6] SEMI MF1391-1107 Test Methodfor Substitutional Atomic Carbon Content of Silicon by Infrared Absorption
[7] GB/T35306-2017 硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法
06-27 福立仪器
好礼来袭 | 分享您身边的特洁安身影06-27
大盘取厚势 落子开新局:战略聚焦开启品牌发展新篇章——访Veralto大中华区总裁秦晓培06-27 星羽
实验操作 | 质粒构建、转化、提取、鉴定、转染、测定(完整版)06-27 小 M
有投必奖 | 大家都用 MCE 产品做了啥? (感染领域)06-27 小 M
科研助攻 | 一文讲清:如何破解 PPI 靶点成药难题06-27 小 M
干货分享 | 谈谈天然产物的改构策略06-27 小 M
玉研口鼻暴露系统 | 精准、可控、高通量的动物肺部疾病造模工具,助力创新药物研发06-26 玉研仪器
高分离 高灵敏 高通量——福立液相LC5190重新定义分离需求06-26 福立仪器
医药行业指南:电位滴定仪选型攻略来啦~06-26
屹路同行 悦启新程06-26 屹尧科技
徕卡精准空间生物学解决方案 第四弹06-26 童昕、南希
【直播预告】第一届大湾区生物电镜制样讲习班06-26 徕卡显微系统
徕卡常规显微镜历经严苛的ISO9022标准测试06-26 徕卡显微系统
Viventis LS2 Live 光片显微镜发布会06-26 徕卡显微系统
前沿应用 | 经皮无创血糖检测中葡萄糖拉曼峰直接观测06-26 鉴知技术
SNEC光伏展圆满落幕 | OTT HydroMet闪耀时刻精彩回顾06-26 OTT HydroMet
激光指向稳定在光刻系统应用中的关键作用,及其优化方案!06-26 圈内人都会关注
推陈出新!通微公司携新品亮相本届CPHI06-26 Unimicro
远离氟污染!开启无氟接触前处理技术新篇章06-26