11月23号布鲁克纳米表面仪器部网络直播研讨会

2021-11-22 11:36:01


11月23号布鲁克纳米表面仪器部研讨会


时间                 网络课堂主讲

10:00


讲座1:原子力显微术与白光干涉技术在化学机械抛光(平坦化)工艺研发中的应用

黄鹤  博士

11:00

讲座2:化学机械抛光的工艺和应用研究进展

魏岳腾 博士
14:00

讲座3:原子力显微镜与超高分辨率光学显微镜的联用

郭鑫 博士

15:00

讲座4:大样品台纳米红外光谱和成像系统Dimension IconIR的应用

 刘曜纶         博士
讲座1
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讲座2
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讲座3
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讲座4
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讲师简介

布鲁克资深应用经理

黄鹤博士现任布鲁克公司纳米表面仪器部中国区应用经理。他服务于工艺设备和测量仪器行业近20年,尤其在半导体、数据存储和材料表面工程研究领域拥有丰富经验,是一名材料学博士。黄鹤博士在西安交通大学对减摩耐磨镀层材料如碳膜、氮化钛、钛铝氮等镀层的摩擦磨损性能测试评定开展研究,在香港理工大学利用纳米压痕技术对立方氮化硼(CBN)和类金刚石(DLC)等超硬薄膜开展研究。

布鲁克高级应用及系统工程师

郭鑫博士,2018年博士毕业于南京大学化学化工学院,期间致力于DNA纳米结构的高分辨率成像,具有近10年AFM使用经验。

2018年加入布鲁克纳米表面仪器部售后部门任高级应用及系统工程师。

布鲁克资深应用科学家

魏岳腾博士,现任布鲁克(北京)科技有限公司资深应用科学家,主要从事材料表面多尺度表征技术开发。毕业于清华大学,后在中国科学院从事科研工作,研究领域涉及新材料的研发和应用。加入布鲁克以后致力于先进材料领域的表面表征技术开发应用,在包括半导体、显示技术、MEMS、汽车和光学等领域有丰富的分析测试经验。

布鲁克高级系统及应用工程师

刘曜纶博士于2018年毕业于天津大学精密仪器与光电子工程学院,仪器科学与技术专业,取得工学博士学位。博士期间主要从事金属薄膜的近场光学效应研究,拥有8年原子力显微镜使用经验。在2018年加入布鲁克纳米表面仪器部,担任高级系统及应用工程师,主要负责纳米红外光谱仪和原子力显微镜的售后技术支持工作。

讲座摘要

讲座一:原子力显微术与白光干涉技术在化学机械抛光(平坦化)工艺研发中的应用

化学机械抛光(平坦化)作为半导体前道工艺关键环节受到业界和学界越来越多关注。其中,原子力显微术和白光干涉技术等各种表面显微表征手段,被广泛用于对各种材质抛光后表面形态的观察和表面粗糙度的量化,以及表面缺陷、残留的分析。本次讲座将从被抛光材料、材料移除率与抛光液、缺陷控制等多方面切入,探讨原子力显微与白光干涉是如何为材料研发、工艺优化与良率提升做出一份贡献的。

讲座二:化学机械抛光的工艺和应用研究进展


化学机械抛光(平坦化)作为一种快速全局平坦化的有效手段,除了在传统半导体材料中获得应用以外,在半导体领域的各种新材料,甚至传统领域的加工过程中都获得学术界越来越多的关注。一方面化学机械抛光过程的各种影响因素被广泛研究,包括抛光液、抛光垫、电场、高频振动等,用于理解并指导实际工艺过程的优化;另一方面化学机械抛光也被引入到各种加工要求较高的领域中,用于制备多种新材料和新结构。

本次讲座基于布鲁克的化学机械抛光机(TriboLab CMP,原UMT CP-5),介绍了现阶段各实验室在上述两方面的一些工作。

讲座三:原子力显微镜与超高分辨率光学显微镜的联用


超高分辨率荧光显微镜在2014年获得诺贝尔化学奖,突破了光学衍射极限,分辨率达到了纳米级别。原子力显微镜自从1980年代发明以来,由于分辨率高、样品准备简单,应用范围从无机材料扩展到生物材料,从大气环境扩展到生理溶液环境,从形貌信息扩展到杨氏模量数据。近年来,原子力显微镜开始与超高分辨率光学显微镜进行联用,在原子力显微镜得到三维形貌结构、杨氏模量的同时,还可以得到超高分辨的荧光数据,获得生物过程的信息。

讲座四:大样品台纳米红外光谱和成像系统Dimension IconIR的应用


布鲁克公司于美国加州时间2021年10月18日发布了基于大尺寸样品台的纳米红外光谱和成像系统Dimension IconIR。该系统集成了业界优秀的Dimension Icon原子力显微镜系统和nanoIR系统中的AFM-IR技术,在化学成像极限分辨率突破10 nm的同时提供大尺寸样品台的解决方案,在化学和材料性能成像领域建立了新标准。

本次讲座将结合Dimension IconIR的新品发布,探讨全新系统所能提供的基于纳米化学、纳米机械和纳米电学表征的最完整的原子力显微镜解决方案,帮助聚合物、半导体、地球科学和生命科学应用领域实现突破性研究。

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布鲁克纳米表面仪器部

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